[发明专利]Ni-W-Cr合金靶材的制造方法

权利要求书

1.一种Ni-W-Cr合金靶材的制造方法，其特征在于，依次包括配料步骤，熔炼、铸锭步骤，锻造步骤，一次热处理步骤，轧制步骤、二次热处理步骤和机加工生产成品步骤，其中：

在所述熔炼、铸锭步骤中，所述熔炼是采用真空感应熔炼，其中精炼时间为10～15分钟；当合金液体温度达到液相线以上50～100℃时浇铸；

在所述锻造步骤中，将铸锭在1050～1250℃条件下保温2～4小时后进行锻造以得到锻坯；

在所述一次热处理步骤中，将锻坯在1200℃～1320℃条件下保温12～36小时进行热处理；

在所述轧制步骤中，将一次热处理后的板坯在1050～1250℃条件下保温1～1.5小时后进行热轧，然后冷却至室温并在室温条件下进行冷轧，所述冷轧的总变形量为50%以上；

在所述二次热处理步骤中，将冷轧后得到的板坯在900℃～1100℃条件下保温30～120分钟，出炉空冷。

2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述方法制造的Ni-W-Cr合金靶材按原子百分比由以下元素组成：Cr4-20%，W5-15%，Ni65～91%。

3.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，所述方法制造的Ni-W-Cr合金靶材按原子百分比由以下元素组成：Cr8-15%，W7-12%，Ni75～85%。

4.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述轧制步骤中，将一次热处理后的板坯放入轧钢加热的马弗炉以在1100～1200℃条件下保温1～1.5小时。

5.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述配料步骤中使用的金属原料的纯度在99.95％以上。

6.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述轧制步骤中，所述冷轧的总变形量为50-60%。