[发明专利]干涉物镜驱动装置

说明书

技术领域

本发明涉及微驱动应用领域，具体涉及一种干涉物镜驱动装置。

背景技术

机械零件的表面质量不仅直接影响着零件的使用性能，而且还影响着产品的质量、可靠性及寿命。随着现代技术水平的飞速发展，很多高精尖产品对表面加工质量要求越来越高，超精密加工技术已经成为现代科技的前沿。而超精密检测技术是与超精密加工技术并行发展的一门高科技技术，精确可靠地测量超精表面的微观形貌现已成为超精密加工领域中一个有待解决的关键问题。

干涉物镜是利用光波干涉原理来检测机械零件表面质量的仪器，其具有表面信息直观和测量精度高等优点。目前，上述干涉物镜在使用过程中，需要对其进行定位，使其与被测量物之间保持合适的距离。因此，需要物镜驱动装置对其进行驱动，但现有的物镜驱动装置有的为了保证高精密位移输出，而不能满足有较大微位移输出要求的应用场合。

因此，针对上述问题，有必要提供一种的干涉物镜驱动装置。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种干涉物镜驱动装置。

为了实现上述目的，本发明实施例提供的技术方案如下：

一种干涉物镜驱动装置，其包括：

本体，所述本体上形成有贯通的腔室，所述腔室的一侧一体形成对称四杆机构，所述对称四杆机构由柔性铰链形成；

安装架和固定架，所述安装架设置于所述对称四杆机构上，且与所述对称四杆机构一体成型，所述固定架与所述安装架相对地设置于所述本体的另一端；

放大机构，其位于所述腔室中，所述放大机构包括相对设置的弧形金属框架、及与所述弧形金属框架一体成型且相对设置的金属板框架，且所述金属板框架设置于所述弧形金属框架之间，并与所述弧形金属框架相垂直，所述一侧的弧形金属框架通过一支撑件与所述对称四杆机构相连接，所述另一侧的弧形金属框架通过另一支撑件与所述本体连接；

压电陶瓷、预紧顶丝、滚珠，所述压电陶瓷内接于所述金属板框架之间，所述预紧顶丝与所述本体相螺接，所述滚珠与所述预紧顶丝相配合，且所述滚珠与所述压电陶瓷与所述金属板框架相内接一侧的壁面相抵靠。

作为本发明的进一步的改进，所述放大机构将所述压电陶瓷的位移放大5～14倍。

作为本发明的进一步的改进，滚珠部分镶嵌于所述预紧顶丝中。

作为本发明的进一步的改进，所述预紧顶丝包括第一顶丝和第二顶丝，所述第一顶丝和第二顶丝通过方向相反的螺纹与所述本体相螺接。

作为本发明的进一步的改进，所述预紧顶丝与所述本体相螺接的螺纹为M6X0.75细牙螺纹。

作为本发明的进一步的改进，所述滚珠和压电陶瓷之间还设置有钨钢片，所述钨钢片与所述压电陶瓷的一端进行固定连接，所述滚珠抵靠于所述钨钢片上。

作为本发明的进一步的改进，所述柔性铰链最大形变量时的恢复力小于与其相互作用的压电陶瓷的最大驱动力。

作为本发明的进一步的改进，所述柔性铰链的材质为超硬铝。

作为本发明的进一步的改进，所述贯通的腔室具有相对设置的开口，所述相对设置的开口分别由上盖板和下盖板进行封闭。

作为本发明的进一步的改进，所述安装架上形成有安装干涉物镜的螺纹。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明的干涉物镜驱动装置通过放大机构将压电陶瓷的微小位移进行放大，从而使干涉物镜驱动装置获得了较大的位移范围。同时本发明的干涉物镜驱动装置采用柔性铰链形成的对称四杆机构做传动，压电陶瓷带动柔性铰链运动时不存在摩擦力，安装固定时损坏机率减小，成本低。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的干涉物镜驱动装置一具体实施方式的立体示意图；

图2为本发明的干涉物镜驱动装置一具体实施方式的部分结构的剖视图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明中的技术方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。