[发明专利]琴键形太赫兹波偏振分束器

权利要求书

1.一种琴键形太赫兹波偏振分束器，其特征在于包括信号输入端（1）、第一信号输出端（2）、第二信号输出端（3）、第一正方形平板（4）、第二正方形平板（5）、第三正方形平板（6）、第一直角梯形平板（7）、第二直角梯形平板（8）、矩形开槽（9）、第一矩形平板（10）、第二矩形平板（11）、圆柱形开槽（12）；第三正方形平板（6）一端、第一矩形平板（10）、第二矩形平板（11）一边对齐顺次相连，第二矩形平板（11）上设有5×3个圆柱形开槽（12），第三正方形平板（6）和第一矩形平板（10）的上表面从下到上顺次放置第二直角梯形平板（8）、第一直角梯形平板（7），第一直角梯形平板（7）上设有九个相同的矩形开槽（9），第一直角梯形平板（7）下底边端为信号输入端（1），第一直角梯形平板（7）上底边端为第一信号输出端（2），第三正方形平板（6）另一端为第二信号输出端（3），太赫兹波从信号输入端（1）水平输入，第一信号输出端（2）输出TM波，第二信号输出端（3）输出TE波，获得偏振分束性能。

2.根据权利要求1所述的一种琴键形太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的第一正方形平板（4）的材料为氮化硅，第一正方形平板（4）的边长为100μm~120μm，高为30μm~40μm。

3.根据权利要求1所述的一种琴键形太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的第二正方形平板（5）的材料为苯并环丁烯，第二正方形平板（5）的边长为100μm~120μm，高为10μm~20μm。

4.根据权利要求1所述的一种琴键形太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的第三正方形平板（6）的材料为氮化硅，第三正方形平板（6）的边长为100μm~120μm，高为30μm~40μm。

5.根据权利要求1所述的一种琴键形太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的第一直角梯形平板（7）的材料为氮化硅，第一直角梯形平板（7）的上底边长为30μm~40μm，下底边长为100μm~120μm，直角边长为200μm~220μm，高为30μm~40μm。

6.根据权利要求1所述的一种琴键形太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的第二直角梯形平板（8）的材料为苯并环丁烯，第二直角梯形平板（8）的上底边长为30μm~40μm，下底边长为100μm~120μm，直角边长为200μm~220μm，高为10μm~20μm。

7.根据权利要求1所述的一种琴键形太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的矩形开槽（9）的长为32μm~34μm，宽为18μm~20μm，高为30μm~40μm。

8.根据权利要求1所述的一种琴键形太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的第一矩形平板（10）的材料为氮化硅，第一矩形平板（10）长为200μm~220μm，宽为120μm~140μm，高为30μm~40μm；所述的第二矩形平板（11）的材料为氮化硅，第二矩形平板（11）的长为130μm~150μm，宽为80μm~100μm，高为30μm~40μm。

9.根据权利要求1所述的一种琴键形太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的圆柱形开槽（12）的半径为10μm~12μm，高为30μm~40μm。