[发明专利]一种光纤法珀力传感器及其制作方法

权利要求书

1.光纤法珀力传感器，其特征在于：包括低反射率光纤布拉格光栅（1）、微光纤锥（2）、光纤菲涅尔反射面（3）和单模光纤（4）；

入射光经低反射率光纤布拉格光栅(1)进入单模光纤（4），在光纤布拉格光栅处形成第一反射光，透射光经过微光纤锥（2）后，在光纤菲涅尔反射面（3）处形成第二反射光，光纤布拉格光栅反射面（1）与光纤菲涅尔反射面（3）形成光纤法珀腔，两束反射光产生干涉。

2.根据权利要求1所述的光纤法珀力传感器，其特征在于：低反射率光纤布拉格光栅（1）的反射率在1%-4%。

3.光纤法珀力传感器的制作方法，其特征在于包括以下步骤：在单模光纤（4）上制作低反射率光纤布拉格光栅（1）后，将其一端固定在三维位移台（5）上，另一端固定在一维电动位移台（6）上，通过加热光纤布拉格光栅（1）的固定端（7）使其融化，同时通过一维电动位移台（6）控制运动端（8）的加速度、速度与位移量，实现微光纤锥（2）结构，然后通过切割固定端（7）得到光纤菲涅尔反射面（3）。

4.根据权利要求3所述的一种光纤法珀力传感器及其制作方法，其特征在于：光纤布拉格光栅（1）的反射率在1%-4%。

5.根据权利要求3所述的一种光纤法珀力传感器及其制作方法，其特征在于：一维电动位移台（6）的运动参数包括加速度0.5-1.5mm/s，速度2-4mm/s，位移量在1cm-5cm。