[发明专利]一种等离子雾化制备高纯度球形超细/纳米级粉末材料的工艺方法和装备

权利要求书

1.一种等离子雾化制备高纯球形超细/纳米粉末的工艺方法和装备，建立对称等离子体炬，对称等离子体矩可以是2个、3个等N个，形成高温等离子体焦点，高温等离子体温度可以高达10000K，根据工艺要求，可选择不同种类的气体等离子体，如氩气、氮气、氧气、空气等离子体，本发明能生产高质量超细/纳米级金属粉末、陶瓷粉末等各种材质的粉末材料，可被雾化的原材料可以是固体、液体、气体等多种形态的各种材质，此方法生产的超细/纳米粉末具有纯度高，粒度分布集中，外观呈球形特征，可以是固体，如棒材、丝材，粉末颗粒原材料，或者液体、气体等多种形态的各种材质的原材料，通过设计的专用原材料送料装置直接送入等离子体焦点最高温区，原材料被迅速熔化或汽化、或者热反应分解合成，雾化制备出超细/纳米级金属或者陶瓷粉末等各种材质的粉末材料。

2.如权利要求1所述的一种等离子雾化制备高纯球形超细/纳米粉末的工艺方法和装备，其特征为：建立等离子雾化设备体系，该体系由专用原材料送料系统、对称等离子体炬、真空系统、雾化塔和粉末收集装置及废气净化循环再利用系统等组成。

3.如权利要求1所述的一种等离子雾化制备高纯球形超细/纳米粉末的工艺方法和装备，其特征为：根据工艺要求，选择不同种类的气体等离子体，如氩气、氮气、氧气、空气等离子体，建立对称等离子体炬，形成高温等离子体焦点。

4.如权利要求1所述的一种等离子雾化制备高纯球形超细/纳米粉末的工艺方法和装备，其特征为：其生产的原材料可以是固体，如棒材、丝材、粉末颗粒原材料，或液体、气体原料通过专用的原材料输送装置直接送入等离子体焦点最高温区。

5.如权利要求1所述的一种等离子雾化制备高纯球形超细/纳米粉末的工艺方法和装备，其特征为：原材料在10000K以下等离子体高温下被瞬间熔化或汽化或热化学反应分解/合成，并被等离子体高速冲击分散雾化成超细液滴或气雾状，在雾化塔中飞行沉积过程中，与通入雾化塔中的冷却氩气进行热交换冷却凝固成超细/纳米粉末，超细粉末平均粒度通常为1-100um，纳米粉末平均粒度通常为10-100nm。

6.如权利要求1所述的一种等离子雾化制备高纯球形超细/纳米粉末的工艺方法和装备，其特征为：气体粉末进入旋风分离和布袋过滤系统进行气粉分离，超细粉末被集中收集，过滤后的氩气经过气体净化再循环利用系统被回收加压后重新成为工作气源。

7.如权利要求1所述的一种等离子雾化制备高纯球形超细/纳米粉末的工艺方法和装备，其特征为：可用等离子体雾化制备的系列粉末举例：

   本发明涉及的技术和装备生产的产品包括以上举例但不限于以上举例的产品。