[发明专利]一种超声波雾化-微波热解制备薄膜的方法

权利要求书

1.一种超声波雾化-微波热解制备薄膜的方法，其特征在于具体步骤如下：

（1）首先将一种或两种可溶性金属盐与水混合均匀配置成0.001～1.5mol/L的涂膜液，然后将涂膜液经超声波雾化成小细雾滴；

（2）步骤（1）得到的小细雾滴在载气的带动下，经导管和雾化喷嘴引入到微波环境中，小细雾滴经雾化喷嘴喷溅到已被微波加热到300～1000℃的衬底上，雾滴迅速干燥和发生热解并聚集在衬底上制备得到薄膜。

2.根据权利要求1所述的超声波雾化-微波热解制备薄膜的方法，其特征在于：所述可溶性金属盐为醋酸盐、氯盐、硝酸盐或硫酸盐。

3.根据权利要求1所述的超声波雾化-微波热解制备薄膜的方法，其特征在于：所述载气为空气，流量为1～10L/min。

4.根据权利要求1所述的超声波雾化-微波热解制备薄膜的方法，其特征在于：所述雾化喷嘴距离衬底的距离为3～20cm。

5.根据权利要求1所述的超声波雾化-微波热解制备薄膜的方法，其特征在于：所述衬底是单晶硅或石英玻璃。

6.根据权利要求1所述的超声波雾化-微波热解制备薄膜的方法，其特征在于：所述薄膜厚度通过调节雾化喷嘴喷溅时间来控制。

7.根据权利要求1所述的超声波雾化-微波热解制备薄膜的方法，其特征在于：所述步骤（2）中小细雾滴干燥热解所产生的尾气采用碱液吸收处理。