[发明专利]一种基于弧面电极放电的激光诱导击穿光谱检测系统有效

专利信息
申请号: 201310611350.7 申请日: 2013-11-26
公开(公告)号: CN103712959A 公开(公告)日: 2014-04-09
发明(设计)人: 王哲;侯宗余;袁廷璧;李政 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: G01N21/63 分类号: G01N21/63
代理公司: 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 代理人: 邸更岩
地址: 100084 北京市海淀区1*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 电极 放电 激光 诱导 击穿 光谱 检测 系统
【权利要求书】:

1.一种基于弧面电极放电的激光诱导击穿光谱检测系统,该系统包括脉冲激光器(8)、聚焦透镜(9)、探头(13)、光纤(14)、光谱仪(15)和计算机(16),其特征在于:所述系统还包括弧面电极放电装置(11),弧面电极放电装置(11)放置在待测样品表面,所述的弧面电极放电装置包括高压直流电源(5)、电容(6)、高压电缆(7)、绝缘层(2)、弧面电极的正极(1)和弧面电极的负极(4);高压直流电源与电容通过高压电缆并联,弧面电极的正极和弧面电极的负极分别通过高压电缆与高压直流电源的正极和负极连接,所述的绝缘层(2)位于弧面电极的正极和弧面电极的负极之间;弧面电极的正极、弧面电极的负极和绝缘层之间形成一个圆柱形空腔(3);脉冲激光器发出的脉冲激光经过聚焦透镜聚焦后穿过圆柱形空腔(3)的中心击打在待测样品(12)的表面产生等离子体(10),等离子体发出的光信号经探头、光纤和光谱仪收集后,将光信号转换为电信号输入计算机,得到待测样品的光谱信号。

2.根据权利要求1所述的一种基于弧面电极放电的激光诱导击穿光谱检测系统,其特征在于:所述的弧面电极正极和弧面电极负极的材料采用铈钨合金。

3.根据权利要求1所述的一种基于弧面电极放电的激光诱导击穿光谱检测系统,其特征还在于:圆柱形空腔的深度为1mm~15mm,直径为1mm~15mm。

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