[发明专利]超短脉冲激光残余角色散的测量装置和测量方法有效
申请号: | 201310613251.2 | 申请日: | 2013-11-27 |
公开(公告)号: | CN103604509A | 公开(公告)日: | 2014-02-26 |
发明(设计)人: | 崔勇;李朝阳;单炯;杨学东;王韬;徐光;马伟新;戴亚平;朱俭 | 申请(专利权)人: | 上海激光等离子体研究所 |
主分类号: | G01J11/00 | 分类号: | G01J11/00;G01J9/00 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 超短 脉冲 激光 残余 角色 测量 装置 测量方法 | ||
1.一种超短脉冲激光残余角色散的测量装置,特征在于其构成包括:沿光束行进方向依次的第一直角棱镜(1)、第一平行平板(2)、第二直角棱镜(3)、第二平行平板(4)、消色差透镜(5)、分束器(6)、CCD(7)、光谱仪(8),所述的分束器(6)将光束分为两部分,一部分会聚到CCD(7)上,另一部分入射到光谱仪(8)上;所述的第一直角棱镜(1)与第二直角棱镜(3)相同;所述的第一平行平板(2)与第二平行平板(4)厚度不同,第一平行平板(2)与第二平行平板(4)垂直放置;所述的第一直角棱镜(1)的较大的直角面与第一平行平板(2)固定在一起,且所述的第一直角棱镜(1)较小的直角面与所述的第一平行平板(2)的端面对齐,所述的第二直角棱镜(3)的较小的直角面与第二平行平板(4)固定在一起,且所述的第二直角棱镜(3)较大的直角面与所述的第二平行平板(4)的端面对齐;所述的CCD(7)放置在所述的消色差透镜(5)的焦平面;所述的第一平行平板(2)、第二平行平板(4)与直角棱镜接触的两平行表面镀高反膜,但直角棱镜与第一平行平板(2)、第二平行平板(4)接触的区域不镀膜。
2.根据权利要求1所述的超短脉冲激光残余角色散的测量装置,其特征在于所述的第一直角棱镜(1)、第一平行平板(2)、第二直角棱镜(3)、第二平行平板(4)的材料为玻璃或者石英。
3.根据权利要求1所述的超短脉冲激光残余角色散的测量装置,其特征在于所述的第一直角棱镜(1)、第二直角棱镜(3)中与空气接触的直角面镀增透膜。
4.利用权利要求1所述的超短脉冲激光残余角色散的测量装置进行超短脉冲激光残余角色散的测量方法,该方法包括以下步骤:
①将待测的超短脉冲激光垂直或接近垂直地入射到第一直角棱镜(1)的直角面上;
②所述的CCD(7)记录分立光点的位置,所述的光谱仪(8)对光点的波长进行测量;
③对所述的CCD(7)记录的分立光点的位置进行测量,取任意两个光点的坐标分别为(x1,y1)、(x2,y2),相应的波长分别为λ1、λ2,所述的消色差透镜(5)的焦距为f,则残余角色散C的分量为:
则残余角色散为
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