[发明专利]等离子体天线以及具有该天线的用于产生等离子体的装置

权利要求书

1.一种等离子体天线，其包括：

第一天线，其利用射频信号感生电磁场；

第二天线，其利用所述射频信号感生电磁场；以及

电容器，其连接在所述第一天线的输入端子与所述第二天线的输入端子之间。

2.根据权利要求1所述的等离子体天线，其中，所述第一天线包括：第一射频馈送器，其接收所述射频信号并且具有柱形形状；以及第一线圈，其连接到所述第一射频馈送器，并且

所述第二天线包括：第二射频馈送器，其接收所述射频信号并且具有围绕所述第一射频馈送器的中空柱形形状；以及第二线圈，其连接到所述第二射频馈送器。

3.根据权利要求2所述的等离子体天线，其中，所述电容器由所述第一射频馈送器、所述第二射频馈送器和布置在所述第一射频馈送器与所述第二射频馈送器之间电介质构成。

4.根据权利要求2所述的等离子体天线，其中，所述第一射频馈送器具有圆柱形形状，并且

所述第二射频馈送器具有围绕所述圆柱形形状的中空圆柱形形状。

5.根据权利要求2所述的等离子体天线，其中，所述第一射频馈送器与所述第二射频馈送器相对于彼此同轴地布置。

6.根据权利要求3所述的等离子体天线，其中，所述电介质包括聚合物或金属氧化物。

7.根据权利要求6所述的等离子体天线，其中，所述聚合物包括聚四氟乙烯、聚酰亚胺或聚醚醚酮（PEEK）。

8.根据权利要求6所述的等离子体天线，其中，所述金属氧化物包括陶瓷。

9.根据权利要求8所述的等离子体天线，其中，所述陶瓷包括Al₂O₃或者ZnO。

10.根据权利要求2所述的等离子体天线，其中，所述等离子体天线包括沿着所述第一射频馈送器与所述第二射频馈送器中的每个的纵轴的多个电容器。

11.根据权利要求10所述的等离子体天线，其中，所述多个电容器由所述第一射频馈送器、所述第二射频馈送器和布置在所述第一射频馈送器与所述第二射频馈送器之间的多个电介质构成。

12.根据权利要求11所述的等离子体天线，其中，所述多个电介质沿着所述纵轴彼此隔开预定距离。

13.根据权利要求11所述的等离子体天线，其中，所述多个电介质的材料是不同的。

14.根据权利要求2所述的等离子体天线，其中，所述电容器包括：

第一传导件，其具有柱形形状，所述第一传导件相对于所述第一射频馈送器同轴地布置；

第二传导件，其具有围绕所述第一传导件的中空柱形形状，所述第二传导件相对于所述第二射频馈送器同轴地布置。

15.根据权利要求14所述的等离子体天线，其中，所述电容器可附接到所述第一天线与所述第二天线中的至少一个上。

16.一种等离子体产生装置，其包括：

射频电源，其提供射频信号；

等离子体室，气体注入到其中以产生等离子体；以及

等离子体天线，其布置在所述等离子体室上，所述等离子体接收所述射频信号以在所述等离子体室中感生电磁场，

其中，所述等离子体天线包括：

第一天线，其利用所述射频信号感生电磁场；

第二天线，其利用所述射频信号感生电磁场；以及

电容器，其连接在所述第一天线的输入端子与所述第二天线的输入端子之间。

17.根据权利要求16所述的等离子体产生装置，其中，所述等离子体天线布置在所述等离子体室的上部上。

18.根据权利要求16所述的等离子体产生装置，其中，所述第一天线与所述第二天线彼此感应耦合。

19.根据权利要求16所述的等离子体产生装置，其中，所述第一天线与所述第二天线并联连接到彼此。