[发明专利]集成光学透镜检测器针孔及集成光学透镜检测器有效
申请号: | 201310625693.9 | 申请日: | 2013-11-28 |
公开(公告)号: | CN103645034A | 公开(公告)日: | 2014-03-19 |
发明(设计)人: | 刘小虎;陈力钧;郑海昌;朱骏 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 陆花 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 集成 光学 透镜 检测器 针孔 | ||
1.一种集成光学透镜检测器针孔,其特征在于,包括透镜本体和通光体,所述通光体上具有通光孔,所述通光体设置于透镜本体内部,且所述通光体上表面与透镜本体的上表面平行。
2.如权利要求1所述的集成光学透镜检测器针孔,其特征在于,所述透镜本体的材质为二氧化硅。
3.如权利要求1所述的集成光学透镜检测器针孔,其特征在于,所述通光体的材质为金属。
4.一种集成光学透镜检测器,其特征在于,包括依次排列的如权利要求1至3中任意一项所述的集成光学透镜检测器针孔、物镜,透镜阵列以及电荷耦合摄像机。
5.如权利要求4所述的集成光学透镜检测器,其特征在于,所述集成光学透镜检测器还包括光程差消除装置,所述光程差消除装置设置于所述透镜阵列和所述电荷耦合摄像机之间。
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