[发明专利]一种立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置

权利要求书

1.一种立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于：包括加热管组件、波纹管组件、波纹管支承座组件和升降机构，所述加热管组件包括加热管，其上端为带绝缘的导线引出端，稍靠下方焊有加热管法兰，所述加热管法兰向下连接波纹管组件，所述波纹管组件向下连接波纹管支承座组件，波纹管支承座组件再向下通过开在炉体顶板上的加热管出入口连通炉内，所述加热管穿过波纹管组件和波纹管支承座组件的中空内腔，伸进炉体顶板上的加热管出入口进入炉内，所述加热管通过加热管法兰连接所述升降机构，所述升降机构驱动加热管法兰，带动加热管下降，使加热管进入镀膜室进行加热抽气作业，再驱动加热管上升使其离开镀膜室以便在真空状态下进行镀膜作业。

2.根据权利要求1所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于：所述加热管组件还包括加热管端头水冷罩和出入水咀，所述加热管法兰环焊在加热管上的凸肩下，在加热管法兰的上端面与加热管之间的空间上，套焊带有出入水咀的冷却水罩，通过水冷罩内的冷却水吸收加热管上传的热量，从而保证加热管引出端的电绝缘，同时保护加热管法兰的真空密封不受损。

3.根据权利要求2所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于：所述波纹管组件包括波纹管、波纹管上法兰和波纹管下法兰，所述波纹管与波纹管上法兰及波纹管下法兰焊接固连，所述波纹管的上、下法兰的中间通孔与波纹管的管口大小相适应，所述波纹管的上、下端口位于所述波纹管上、下法兰中间通孔的外围；所述加热管法兰与波纹管上法兰通过密封圈实现真空封密固连，且加热管法兰与波纹管上法兰共同与升降机构固连，所述波纹管下法兰与波纹管支承座法兰连接。

4.根据权利要求3所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于：所述波纹管的压缩比为8：1，所述波纹管耐温至少为600度。

5.根据权利要求4所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于：所述波纹管支承座组件由波纹管支座法兰、加热管出入口套管、外水套和加热管铜防尘垫圈组成，加热管出入口套管下端伸入炉体顶板的开孔内，与炉体顶板焊接固定，加热管出入口套管上端口与波纹管座法兰焊连，外水套套在加热管出入口套管外周，其与波纹管座法兰和炉体顶板焊接固连，形成环形的水冷室，所述外水套上设有进、出水口，供冷却水进出；所述波纹管支承座法兰与所述波纹管下法兰固定连接，两者之间通过密封圈实现真空密封；所述水冷室内流过的冷却水吸收加热管的辐射热以防止所述真空密封损坏，所述加热管铜防尘垫圈活套在加热管外，且置于波纹管支承座法兰的上端面和波纹管下法兰下端面的环槽内以阻挡加热棒上的不洁物落入炉内。

6.根据权利要求1所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于：所述加热管组件、波纹管组件和波纹管支承座组件密封连接，从加热管法兰以下波纹管组件与波纹管支承座组件的中空内腔连通成真空空间，加热管通过该真空空间穿过加热管出入口进入炉内，由该波纹管伸缩造成的长短可变的内腔成为加热管升降运动的真空通道。

7.根据权利要求1～6所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于：所述升降机构包括升降臂和气缸，所述气缸的活塞杆向上伸出，所述升降臂横向设置，其一端与所述加热管法兰的边缘相连，另一端与所述活塞杆连接；所述气缸的缸体支撑在镀膜室的顶面上。

8.根据权利要求7所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于：所述升降机构还包括导向机构，所述导向机构主要由导柱座、导柱、直线轴承、直线轴承座和气缸固定板组成，所述气缸固定板水平设置，所述气缸固定板的一端连接在所述镀膜室的顶面上，另一端连接在气缸的缸体上以实现支撑气缸；所述直线轴承安装在直线轴承座中，且直线轴承座固定在所述气缸固定板的上表面上，所述导柱座设置在升降臂的开孔内，所述导柱的上端固定在导柱座中并向下穿过直线轴承后伸出气缸固定板。

9.根据权利要求1～6所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于：所述的升降机构包括升降板、气缸和气缸罩，所述气缸安装在所述镀膜室的顶面上，所述气缸的活塞杆向上伸出，所述气缸罩罩在所述气缸上，所述活塞杆与所述气缸罩的顶面相连，所述升降板套于气缸的下部，所述气缸罩的下端口固定在所述升降板上，在所述升降板上开有数个用于加热管伸出的安装孔，每个加热管上的加热管法兰与所述安装孔的孔口下周缘连接。

10.根据权利要求9所述的立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，其特征在于：所述升降机构还包括导向机构，所述导向机构主要由导柱顶板、导柱、直线轴承、直线轴承座和导柱底座组成，所述导柱的下端通过导柱底座固定在镀膜室的顶面上，所述直线轴承安装在直线轴承座内，且直线轴承座固定在所述升降板上，所述导柱向上穿过直线轴承与导柱顶板连接。