[发明专利]铈铕共掺杂碱土铌锌酸盐发光材料、制备方法及其应用

权利要求书

1.一种铈铕共掺杂碱土铌锌酸盐发光材料，其特征在于：其化学式为Me_3-x-yZnNb₂O₉：xCe³⁺,yEu³⁺，其中，x为0.01～0.05，y为0.01～0.08，Me选自钙元素，锶元素及钡元素中至少一种。

2.一种铈铕共掺杂碱土铌锌酸盐发光材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

根据Me_3-x-yZnNb₂O₉：xCe³⁺,yEu³⁺各元素的化学计量比称取MeO，ZnO，Nb₂O₅，CeO₂和Eu₂O₃粉体并混合均匀，其中，x为0.01～0.05，y为0.01～0.08，MeO选自氧化钙，氧化锶及氧化钡中至少一种；及

将混合均匀的粉体在900℃～1300℃下烧结0.5小时～5小时即得到化学式为Me_3-x-yZnNb₂O₉：xCe³⁺,yEu³⁺的铈铕共掺杂碱土铌锌酸盐发光材料，Me选自钙元素，锶元素及钡元素中至少一种。

3.一种铈铕共掺杂碱土铌锌酸盐发光薄膜，其特征在于，该铈铕共掺杂碱土铌锌酸盐发光薄膜的材料的化学通式为Me_3-x-yZnNb₂O₉：xCe³⁺,yEu³⁺，其中，x为0.01～0.05，y为0.01～0.08，Me选自钙元素，锶元素及钡元素中至少一种。

4.一种铈铕共掺杂碱土铌锌酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

根据Me_3-x-yZnNb₂O₉：xCe³⁺,yEu³⁺各元素的化学计量比称取MeO，ZnO，Nb₂O₅，CeO₂和Eu₂O₃粉体并混合均匀在900℃～1300℃下烧结0.5小时～5小时制成靶材，其中，x为0.01～0.05，y为0.01～0.08，Me选自钙元素，锶元素及钡元素中至少一种；

将所述靶材以及衬底装入磁控溅射镀膜设备的真空腔体，并将真空腔体的真空度设置为1.0×10^-3Pa～1.0×10^-5Pa；及

调整磁控溅射镀膜工艺参数为：基靶间距为45mm～95mm，磁控溅射工作压强0.5Pa～5Pa，工作气体的流量为10sccm～40sccm，衬底温度为250℃～750℃，激光能量为80mJ～300mJ，接着进行制膜，得到化学式为Me_3-x-yZnNb₂O₉：xCe³⁺,yEu³⁺的铈铕共掺杂碱土铌锌酸盐发光薄膜，x为0.01～0.05，y为0.01～0.08，Me选自钙元素，锶元素及钡元素中至少一种。

5.根据权利要求4所述的铈铕共掺杂碱土铌锌酸盐发光薄膜的制备方法，其特征在于，所述真空腔体的真空度为5.0×10^-4Pa，基靶间距为60mm，磁控溅射工作压强为2.0Pa，工作气体为氧气，工作气体的流量为20sccm，衬底温度为500℃，激光能量为150mJ。

6.一种薄膜电致发光器件，该薄膜电致发光器件包括依次层叠的衬底、阳极层、发光层以及阴极层，其特征在于，所述发光层的材料为铈铕共掺杂碱土铌锌酸盐发光材料，该铈铕共掺杂碱土铌锌酸盐发光材料的化学式为Me_3-x-yZnNb₂O₉：xCe³⁺,yEu³⁺，其中，x为0.01～0.05，y为0.01～0.08，Me选自钙元素，锶元素及钡元素中至少一种。