[发明专利]光纤布拉格光栅微位移传感器及其测量方法

权利要求书

1.光纤布拉格光栅微位移传感器，其特征在于：包括外壳（1）、内壳（2），内壳（2）设置在外壳（1）内部，内壳（2）和外壳（1）之间还设有光纤布拉格光栅（4）。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于：外壳（1）和内壳（2）均采用圆柱形。

3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于：光纤布拉格光栅（4）设置在弹性膜片（3）上。

4.根据权利要求3所述的传感器，其特征在于：弹性膜片（3）采用不锈钢，并在内壳（2）与外壳（1）之间的四个对称方向上放置。

5.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于：光纤布拉格光栅（4）环绕内壳（2），并与内壳（2）底面平行。

6.根据权利要求3或4所述的传感器，其特征在于：弹性膜片（3）与内壳（2）相接触，并焊接在外壳（1）上。

7.光纤布拉格光栅微位移传感器的测量方法，其特征在于包括：

外壳（1）受到与水平方向成θ角，大小为h的位移作用之后，通过检测光纤布拉格光栅（4）的布拉格波长垂直方向漂移量Δλ_MN、水平方向漂移量Δλ_PQ，分别计算得出弹性膜片（3）垂直方向变化量MN、水平方向变化量PQ，然后根据下式计算得出h和θ的大小：

h=MN2+PQ2θ=arctanMNPQ.]]>

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于：通过检测得到的Δλ_MN、Δλ_PQ，计算MN、PQ的方法是根据下述两式：

MN=1/3.5*Δλ_MN

PQ=1/3.5*Δλ_PQ

其中，Δλ_MN、Δλ_PQ的单位为mm，MN、PQ的单位为nm。