[发明专利]一种质谱仪可调射频电源电路

权利要求书

1.一种质谱仪可调射频电源电路，包括可编程信号源电路、驱动电路、射频变压电路、阻抗变换电路、受控电压源电路，其特征在于可编程信号源电路的输出端与驱动电路的输入端相连接，驱动电路的输出端与射频变压电路的输入端相连接，射频变压电路的输出端一路与阻抗变换电路的输入端相连接，另一路与负载相连接，阻抗变换电路的输出端与受控电压源电路的反馈端相连接，受控电压源电路的电压输出端与射频变压电路的电源输入端相连接，每块电路均由直流电源供电。

2.如权利要求1所述的质谱仪可调射频电源电路，其特征在于，所述射频变压电路采用高频磁环作为耦合变压器，输出射频电压经过由阻抗变换电路、受控电压源电路构成的负反馈回路后反馈到射频变压电路的电源输入端。

3.如权利要求1所述的质谱仪可调射频电源电路，其特征在于，所述可编程信号源电路为可编程逻辑控制器件，输出频率、脉宽可调的高频方波信号。