[发明专利]一种纳米薄膜转运工装

权利要求书

1.一种纳米薄膜转运工装，其特征在于，包括：中空的结构盒体、气流发生部分、吸头、触膜网板和密封圈；

其中，气流发生部分安装在结构盒体的内部上端，用来在结构盒体内的中空腔体中产生向上或向下的气流；

吸头安装在结构盒体的下部末端，吸头向上突起部分与结构盒体下部螺纹连接，结构盒体与吸头之间安装有O型密封圈；

触膜网板为蜂窝状网板，镶嵌在吸头中。

2.如权利要求1所述的纳米薄膜转运工装，其特征在于，所述气流发生部分包括定值吸附叶片、吹压叶片、吸附控制开关和吹压控制开关；其中，定值吸附叶片和吹压叶片安装在结构盒体上，上下对装，下端为定值吸附叶片，上端为吹压叶片。

3.如权利要求1或2所述的纳米薄膜转运工装，其特征在于，进一步包括气流调节部分，气流调节部分位于结构盒体中空腔体外部，用来改变中空腔体内气流压力。

4.如权利要求3所述的纳米薄膜转运工装，其特征在于，所述气流调节部分包括气压调节环和气压调节孔；在结构盒体中空腔体外设置气压调节孔，气压调节环覆盖在气压调节孔上，气压调节环上设有与气压调节孔对应的孔。

5.如权利要求1所述的纳米薄膜转运工装，其特征在于，所述触膜网板与吸头底面之间间隔一定的距离。

6.如权利要求1所述的纳米薄膜转运工装，其特征在于，所述触膜网板的孔径为0.1mm，与纳米薄膜同种基材、相同形状，所述触摸网板厚10mm，其中5mm被镶嵌在吸头中，5mm裸露在外。

7.如权利要求1所述的纳米薄膜转运工装，其特征在于，所述吸头外侧设有止口定位法兰。

8.如权利要求1所述的纳米薄膜转运工装，其特征在于，所述结构盒体外侧设置静电引出接头进行接地。

9.如权利要求1所述的纳米薄膜转运工装，其特征在于，所述结构盒体顶部设置防尘罩。

10.如权利要求1所述的纳米薄膜转运工装，其特征在于，所述结构盒体为铝合金。