[发明专利]一种新型真空密封材料组合物

权利要求书

1.一种新型真空密封材料组合物，其特征在于，各原料的重量百分比为： 

。

2.根据权利要求1所述的一种新型真空密封材料组合物，其特征在于，粘结剂是天然沥青、煤焦沥青、石油沥青、沥青胶泥或页岩沥青中的至少一种。 

3.根据权利要求1所述的一种新型真空密封材料的组合物，其特征在于，蜡是动植物蜡、矿物蜡或合成蜡中的至少一种。 

4.根据权利要求3所述的一种新型真空密封材料组合物，其特征在于，动植物蜡包括：棕榈蜡、康蜡、木蜡、蒙旦蜡、虫蜡，蜂蜡，鲸蜡或羊毛蜡。 

5.根据权利要求3所述的一种新型真空密封材料组合物，其特征在于，矿物蜡包括：褐煤蜡、石蜡、地蜡、天然地矿蜡或氧化地蜡。 

6.根据权利要求3所述的一种新型真空密封材料组合物，其特征在于，合成蜡包括：聚乙烯蜡、氧化聚乙烯蜡、费歇尔-托普希蜡、氢化蓖麻油蜡、聚四氟乙烯蜡或聚酰胺蜡。 

7.根据权利要求1所述的一种新型真空密封材料组合物，其特征在于，蜡是在高真空下，减压蒸馏提纯得到精制的高纯度蜡。 

8.根据权利要求1所述的一种新型真空密封材料组合物，其特征在于，基础油 包括：矿物油、合成烃、聚-a-烯烃或复合酯类油中的至少一种。 

9.根据权利要求10所述的一种新型真空密封材料组合物，其特征在于，基础油的粘度在100℃下为20～70mm²/s。 

10.根据权利要求1所述的一种新型真空密封材料组合物，其特征在于，基础油是在高真空下，经减压蒸馏提纯得到精制的基础油。 

11.根据权利要求1所述的一种新型真空密封材料组合物，其特征在于，添加剂包括：增粘剂和防锈剂。 

12.根据权利要求1所述的一种新型真空密封材料组合物的用途，其特征在于，作为真空封蜡材料，其用于半导体元件生产对硅片表面选择腐蚀时，使用真空封蜡材料作屏蔽保护剂或用在135℃以下电真空器件及系统的永久性或半永久性密封。 

13.所述一种新型真空密封材料组合物的制备方法，其特征在于，包括以下几个步骤： 

（1）首先将粘结剂进行加热真空过滤； 

（2）对蜡进行真空精制后再进行热过滤； 

（3）对基础油进行减压蒸馏提纯后进行过滤； 

将过滤过的粘结剂、精制后的蜡、减压蒸馏后的基础油及添加剂投入调和容器中，加热至100～150℃，开启搅拌，使物料全部溶解并混合均匀后，再加热至180～290℃，进行高温熟化1～6h，然后再进行真空脱气，脱完气后，再进行过滤，趁热进行包装。