[发明专利]一种具有金属流密封结构的压阻式传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种具有金属流密封结构的压阻式传感器，包括传感头（1）和基座，其特征在于：所述基座包括软金属连接体（2）和具有弹性的硬金属压力座（3），软金属连接体（2）的前端开设有供外部流体流入的第一引压源孔（21）及与第一引压源孔（21）连通的用于安装硬金属压力座（3）的阶梯孔（22），软金属连接体（2）的后端设有与阶梯孔（22）连通的内腔（23），所述硬金属压力座（3）内开设有与第一引压源孔（21）连通的第二引压源孔（31），第二引压源孔（31）靠近内腔（23）的底端形成有封闭第二引压源孔（31）的弹性受压面（32），弹性受压面（32）背面安装有传感头（1），所述硬金属压力座（3）上靠近弹性受压面（32）的一端设置有用于与阶梯孔（22）形成径向空隙分隔的分隔部（33），硬金属压力座（3）上远离弹性受压面（32）的一端设置有与阶梯孔（22）配合的阶梯轴（34），阶梯轴（34）的小直径端（341）的外周壁上开设有密封环槽（35），所述硬金属压力座（3）压入阶梯孔（22）内，阶梯轴（34）上的阶梯端面（343）推挤阶梯孔（22）的台阶面（223）迫使阶梯孔（22）的小孔（221）内壁塑性变形并导向流入密封环槽（35）而实现密封和承压。

2.根据权利要求1所述的一种具有金属流密封结构的压阻式传感器，其特征在于：所述密封环槽（35）的横截面呈圆弧形。

3.根据权利要求1所述的一种具有金属流密封结构的压阻式传感器，其特征在于：所述密封环槽（35）至少设置有一个。 

4.根据权利要求1至3任一所述的一种具有金属流密封结构的压阻式传感器，其特征在于：所述阶梯孔（22）的小孔（221）与第一引压源孔（21）连通，阶梯孔（22）的大孔（222）与所述分隔部（33）形成径向空隙分隔并与内腔（23）连通，大直径端（342）的端面延伸有所述的分隔部（33）。

5.根据权利要求1至3任一所述的一种具有金属流密封结构的压阻式传感器，其特征在于：所述分隔部（33）的外壁与阶梯孔（22）的内壁之间形成径向空隙分隔部分的空隙为0.3~2mm。

6.根据权利要求1至3任一所述的一种具有金属流密封结构的压阻式传感器，其特征在于：所述软金属连接体（2）的外周壁上设置有用于连接的外螺纹（24）或密封槽。

7.一种应用于权利要求1至6任一所述的一种用于生产具有金属流密封结构的压阻式传感器的制造方法，其特征在于：包括以下步骤：

A、        制作软金属连接体（2），软金属连接体（2）的前端开设有供外部流体流入的第一引压源孔（21），中部设有用于安装硬金属压力座（3）的阶梯孔（22），后端设有与阶梯孔（22）连通的内腔（23）；

B、         制作具有弹性的硬金属压力座（3），使硬金属压力座（3）的硬度大于软金属连接体（2）的硬度，所述硬金属压力座（3）内开设有与第一引压源孔（21）连通的第二引压源孔（31），第二引压源孔（31）靠近内腔（23）的底端形成有封闭第二引压源孔（31）的弹性受压面（32），所述硬金属压力座（3）上靠近弹性受压面（32）的一端设置有用于与阶梯孔（22）形成径向空隙分隔的分隔部（33），硬金属压力座（3）上远离弹性受压面（32）的一端设置有与阶梯孔（22）相配合的阶梯轴（34），阶梯轴（34）的小直径端（341）的外周壁上开设有密封环槽（35）；

C、        在硬金属压力座（3）上的弹性受压面（32）背部安装传感头（1）；

D、        将硬金属压力座（3）压入阶梯孔（22）内，在压入过程中，阶梯轴（34）上的阶梯端面（343）对阶梯孔（22）的台阶面（223）进行推挤，迫使阶梯孔（22）的小孔（221）内壁塑性变形并导向流入密封环槽（35），从而实现密封和承压的作用。

8.根据权利要求7所述的一种用于生产具有金属流密封结构的压阻式传感器的制造方法，其特征在于：所述步骤D中采用挤压、压锻或冲压的方法将硬金属压力座（3）压入阶梯孔（22）内。

9.根据权利要求7所述的一种用于生产具有金属流密封结构的压阻式传感器的制造方法，其特征在于：所述软金属连接体（2）采用铝材料制成。

10.根据权利要求7至9任一所述的一种用于生产具有金属流密封结构的压阻式传感器的制造方法，其特征在于：所述硬金属压力座（3）采用弹性不锈钢材料制成。