[发明专利]一种光纤耦合的微型集成化纳秒脉冲激光模块

权利要求书

1.一种光纤耦合的微型集成化纳秒脉冲激光模块，主要包括连接泵浦源和输出到放大系统的尾纤、自聚焦透镜和增益介质及可饱和吸收体复合晶体，其特征在于：

所述尾纤包含输入端和输出端，连接在两块自聚焦透镜一侧；

所述自聚焦透镜的两端面镀有在泵浦光波长的高增透膜，放置在所述增益介质及可饱和吸收体复合晶体的入射面一侧，利用所述尾纤将泵浦源发出的光经过自聚焦透镜汇聚到所述增益介质及饱和吸收体复合晶体中；

所述增益介质及可饱和吸收体复合晶体的入射端面镀有在泵浦光波长的高透膜和在振荡光波长的高反膜，另一端面镀有在振荡光波长的高透膜；

所述增益介质及可饱和吸收体复合晶体发出的光由其两端面所镀的膜反射和部分透射，形成激光振荡，经过所述两端面镀有在振荡光波长的高透膜的自聚焦透镜耦合进入尾纤输出。

2.根据权利要求1所述的微型集成化纳秒脉冲激光模块，其特征在于，所述尾纤的输入端和输出端之外设有光纤连接器。

3.根据权利要求1所述的微型集成化纳秒脉冲激光模块，其特征在于，所述泵浦源为半导体激光二极管（优选的，所述半导体激光二极管用光纤将泵浦光导入）。

4.根据权利要求1所述的微型集成化纳秒脉冲激光模块，其特征在于，所述振荡光为纳秒脉冲激光（优选的，所述振荡光用自聚焦透镜耦合进入光纤输出）。

5.根据权利要求1所述的微型集成化纳秒脉冲激光模块，其特征在于，所述自聚焦透镜尺寸为?3mm×9mm。

6.根据权利要求1所述的微型集成化纳秒脉冲激光模块，其特征在于，所述增益介质及可饱和吸收体复合晶体为Nd:YAG + Cr⁴⁺:YAG，其尺寸为?3mm×9mm（优选的，Nd:YAG尺寸为?3mm×6mm, Cr⁴⁺:YAG尺寸为?3mm×3mm，Cr⁴⁺:YAG透过率为65%）。

7.根据权利要求5所述的微型集成化纳秒脉冲激光模块，其特征在于，所述增益介质及可饱和吸收体复合晶体输出端面镀有对1064nm部分透射的高透膜（优选的，透过率为10%～15%）。

8.根据权利要求5-6任一所述的微型集成化纳秒脉冲激光模块，其特征在于，所述增益介质及可饱和吸收体复合晶体与连接有控温模块的TEC控温器件相粘合。

9.根据权利要求7所述的微型集成化纳秒脉冲激光模块，其特征在于，TEC控温器件的控温物质为TEC，其尺寸为5mm×5mm×9mm（优选的，控制温度范围为30～33℃）。