[发明专利]石英玻璃晶圆用毛坯的加工方法及装置

权利要求书

1.一种石英玻璃晶圆用毛坯的加工方法，其特征在于，包括步骤：

使用中频加热炉将石英玻璃坨加热至熔融状态，利用牵引系统通过下料口熔拉成棒状毛坯，冷却后得到晶圆用石英玻璃毛坯棒料。

2.根据权利要求1所述的石英玻璃晶圆用毛坯的加工方法，其特征在于，熔拉过程中，利用测径仪测得的毛坯棒料的直径信息控制熔拉速度调节所述毛坯棒料尺寸。

3.根据权利要求2所述的石英玻璃晶圆用毛坯的加工方法，其特征在于，所述晶圆用石英玻璃毛坯棒料的直径为8英寸或8英寸以下，所述晶圆用石英玻璃毛坯棒料的截面形状为圆形、方形、六边形或八边形。

4.一种用于权利要求1、2或3所述石英玻璃晶圆用毛坯的加工方法的装置，其特征在于，包括中频加热炉，所述中频加热炉的下部设有下料口，所述下料口的下方设有牵引系统。

5.根据权利要求1所述的石英玻璃晶圆用毛坯的加工方法，其特征在于，所述下料口的出料口的一侧设有测径仪。

6.根据权利要求5所述的石英玻璃晶圆用毛坯的加工方法，其特征在于，所述中频加热炉包括炉盖、耐火材料、保温套上部、填充保温层、感应圈、保温套中部、保温套下部、冷却系统、发热体，所述下料口设于所述发热体的下部。

7.根据权利要求6所述的石英玻璃晶圆用毛坯的加工方法，其特征在于，所述牵引系统包括拉杆、升降机和导轨。