[发明专利]手动探针台

权利要求书

1.一种手动探针台，包括探针台底座、安装在探针台底座立柱上的显微镜、升降台、固定在升降台上用于安装测试探针的探针架、用于放置待测试芯片的承片台、安装承片台的承片台座、快速寻址机构、锁紧机构及微调装置，所述探针台底座下面设有电器盒，所述承片台座置于快速寻址机构的导轨上，其特征是，

所述锁紧机构由真空吸盘构成，真空吸盘与探针台底座的台面贴合，所述微调装置设置在真空吸盘上，真空吸盘与快速寻址机构连接，真空吸盘与探针台底座的台面为真空锁紧状态时，快速寻址机构被固定锁紧；所述真空吸盘下表面设有真空室，真空室设置在真空吸盘与探针台底座之间，并与探针台底座的台面贴合。

2.根据权利要求1所述的手动探针台，其特征是，所述真空室的直径为95mm。

3.根据权利要求1所述的手动探针台，其特征是，所述电器盒内设有电器、气动部件，电器、气动部件由直流24伏电源、电磁阀、锁紧按钮电路连接构成，锁紧按钮处于常开状态，此时真空吸盘导入真空，真空吸盘与探针台底座的台面为真空锁紧状态，快速寻址机构被固定锁紧，通过微调装置对承片台座进行微调；锁紧按钮闭合时，真空吸盘内真空释放，真空吸盘与探针台底座的台面为非真空锁紧状态。

4.根据权利要求1所述的手动探针台，其特征是，所述真空吸盘在与探针台底座台面贴合面处涂覆有0.3mm厚的特氟龙涂层。