[发明专利]使用残余气体分析仪的真空室测量

权利要求书

1.一种测量真空工具的客体真空室中的气氛的方法，所述方法包括：

使用残余气体分析仪来测量在所述真空工具的主体真空室中的气氛的第一组成，其中，在测量所述第一组成期间，所述主体真空室和客体真空室不联接；

将所述主体真空室联接到所述客体真空室，使得在所述主体真空室中的气氛与所述客体真空室中的气氛混合，以在所述主体真空室中形成混合气氛；

在联接了所述室之后，使用所述残余气体分析仪来测量在所述主体真空室中的混合气氛的第二组成；以及

使用处理器，使用所述测量的第一组成和第二组成来自动确定在所述客体真空室中的气氛的组成。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括在测量了所述第二组成后，将所述主体真空室抽空。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括在所述主体真空室联接到所述客体真空室时机械移动在所述主体真空室或所述客体真空室内的部件。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括使用所述处理器在联接步骤与测量第二组成的步骤之间自动等待选定时间。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括将所述主体真空室抽空至选定压力并且同时使用所述残余气体分析仪来测量在所述主体真空室中的气氛的第一组成。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括接收来自主机接口的命令输入并且响应于所接收的命令输入来执行测量第一组成、联接、测量第二组成和确定步骤。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述真空工具包括多个客体真空室并且所述方法还包括：从设备控制器接收命令输入和所述多个客体真空室中的一个的指示并且响应于所接收的命令输入来执行测量第一组成，联接、测量第二组成和确定步骤，联接步骤包括将所指示的客体真空室中的一个联接到所述主体真空室。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，联接步骤包括联接所述室持续至少15秒。

9.一种真空工具，包括：

a) 第一主体真空室；

b) 第一客体真空室；

c) 第一阀，其通过操作以选择性地联接所述第一主体真空室与所述第一客体真空室；

d) 第一残余气体分析仪，其配置成测量所述第一主体真空室中的气氛的组成；以及

e) 处理器，其被配置为：自动操作所述第一阀以分离所述室，使用所述第一残余气体分析仪来测量在所述第一主体真空室中的气氛的第一组成，操作所述第一阀来联接所述第一主体真空室与所述第一客体真空室，使用所述第一残余气体分析仪来测量在所述第一主体真空室中的气氛的第二组成，以及使用所述第一主体真空室中所述气氛的测量的第一组成和第二组成来确定在所述第一客体真空室中的气氛的组成。

10.根据权利要求9所述的工具，其特征在于，还包括：布置于所述第一客体真空室中的一个或多个提升销，所述处理器还被配置成在联接所述室时移动所述提升销。

11.根据权利要求9所述的工具，其特征在于，还包括：第二主体真空室；第二客体真空室；第二阀，其可通过操作以将所述第二主体真空室选择性地联接到所述第二客体真空室；以及，第二残余气体分析仪，其被配置成测量所述第二主体真空室中的气氛的组成，其中，所述处理器还配置成自动操作所述第二阀以分离所述第二主体室与所述第二客体室，使用所述第二残余气体分析仪来测量在所述第二主体真空室中的气氛的第一组成，操作所述第二阀以联接所述第二主体室与所述第二客体室，使用第二残余气体分析仪来测量在所述主体真空室中的气氛的第二组成，以及使用所述第二主体真空室中所述气氛的测量的第一组成和第二组成来确定在所述第二客体真空室中的气氛的组成。