[发明专利]封装用键合丝及其制备方法在审
申请号: | 201310652526.3 | 申请日: | 2013-12-05 |
公开(公告)号: | CN103681570A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 黄崧哲;殷树元 | 申请(专利权)人: | 昆山矽格玛材料科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/48;C23C14/16 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 吴开磊 |
地址: | 215334 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 用键合丝 及其 制备 方法 | ||
1.一种封装用键合丝,其特征在于,包括中心母线,所述中心母线的外表面镀有钯膜。
2.根据权利要求1所述的封装用键合丝,其特征在于,在所述钯膜的上面还镀有金膜。
3.根据权利要求2所述的封装用键合丝,其特征在于,所述钯膜的厚度为0.01-0.3微米;所述金膜的厚度为0.01-0.3微米。
4.根据权利要求1-3任一项所述的封装用键合丝,其特征在于,所述中心母线的横截面直径为80-200微米。
5.根据权利要求4所述的封装用键合丝,其特征在于,所述中心母线包括以下任一种:金银合金线、铜线。
6.根据权利要求5所述的封装用键合丝,其特征在于,
当所述中心母线包括金银合金线时,制备所述金银合金线的金的纯度大于99.99%,银的纯度大于99.99,所述银的质量百分比含量为80%-99.99wt%,所述金的质量百分比含量为19.99-0.00wt%,所述金和所述银的质量百分比之和为99.99%,所含的铋的含量小于30ppm,总杂质含量低于100ppm;或,
当所述中心母线包括铜线时,制备所述铜线的铜为纯度大于99.99%的单晶无氧铜。
7.一种如权利要求1-6任一项所述的封装用键合丝的制备方法,其特征在于,包括:
A.制备中心母线;
B.采用真空镀的方式,在所述中心母线的外表面镀有钯膜;
C.将镀有所述钯膜的所述中心母线进行多次拉伸;
D.清洗;
E.退火得成品。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,在所述B之后,在所述C之前,所述方法还包括:采用真空镀的方式,在所述钯膜上镀金膜;则,
所述C为:将镀有所述金膜的所述中心母线进行多次拉伸。
9.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述制备中心母线包括:
选择中心母线的原料,所述原料包括以下一种或多种:金、银、铜;
将所述原料进行熔炼、铸造、拉伸成铸棒;
将所述铸棒继续进行多次拉伸至横截面直径为80-200微米的所述中心母线。
10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述钯膜的镀膜材料为环形钯靶,纯度为大约99.99%,晶粒小于200微米;所述金膜的镀膜材料为环形金靶,纯度为大于99.99%,晶粒小于200微米。
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