[发明专利]湿洗铝腔室部件的方法

权利要求书

1.一种湿洗铝部件的方法，该铝部件包括裸铝表面和阳极氧化的铝表面，该方法包括：

以约35至约45psi向所述铝部件的表面喷射CO₂干冰；

遮蔽所述铝部件以隐藏所述裸铝表面；

将被喷射干冰并被遮蔽的所述铝部件浸泡在约60℃或在约60℃以上的去离子水中；

在完成在去离子水中的所述浸泡后，用研磨垫和去离子水擦洗所述铝部件；以及

以所列举的顺序重复所述浸泡并擦洗至少附加的3次。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述CO₂干冰喷射持续约5至约10分钟。

3.如权利要求1所述的方法，其中，在所述CO₂干冰喷射之后，该方法还包括以约30至约40psi用去离子水洗刷要清洗的所述铝部件的表面，并接下来将所述铝部件干燥。

4.如权利要求3所述的方法，其中，在所述去离子水洗刷之后，该方法还包括用异丙醇、丙酮、或者异丙醇和丙酮擦拭所述铝部件的所有表面；以及

用去离子水漂洗所述铝部件，接下来用压缩的干燥空气去除过量的去离子水。

5.如权利要求1所述的方法，其中，在所述CO₂干冰喷射之后，该方法还包括将所述铝部件浸泡在约30wt%的H₂O₂溶液中约30分钟，随后用去离子水漂洗。

6.如权利要求5所述的方法，其中，所述浸泡在约30wt%的H₂O₂溶液中是在所述浸泡在约60℃或在约60℃以上的去离子水中之前。

7.如权利要求1所述的方法，其中，在所述CO₂干冰喷射之后，该方法还包括用#360金刚石垫和去离子水擦洗所述铝部件的阳极氧化的铝表面约6分钟，随后用去离子水漂洗并吹除过量的去离子水。

8.如权利要求7所述的方法，其中，所述擦洗所述铝部件的阳极氧化的铝表面是在所述浸泡在约60℃或在约60℃以上的去离子水中之前。

9.如权利要求7所述的方法，其中，在所述擦洗所述铝部件的阳极氧化的铝表面之后，该方法还包括：

将所述铝部件浸泡在包括NH₄OH、H₂O₂和H₂O的溶液中约15分钟，随后用去离子水漂洗；以及

用#360金刚石垫和去离子水擦洗所述铝部件的阳极氧化的铝表面约附加的8分钟。

10.如权利要求9所述的方法，其中，该方法还包括用非编织纤维百洁垫和去离子水擦洗所述铝部件的边缘和角落，随后用去离子水漂洗。

11.如权利要求1所述的方法，其中，所述铝部件被浸泡在约65℃或在约65℃以上的去离子水中。

12.如权利要求11所述的方法，其中，在每次浸泡期间，所述铝部件被浸泡在约65℃或在约65℃以上的去离子水中约45分钟。

13.如权利要求1所述的方法，其中，在所述重复所述浸泡并用研磨垫擦洗所述铝部件至少3次之后，该方法还包括：

使用在约96℃或在约96℃以上的去离子水洗刷所述铝部件的阳极氧化的铝表面约10至约20分钟；以及

使用#360金刚石垫和去离子水擦洗所述铝部件的阳极氧化的铝表面，随后用去离子水漂洗并干燥所述铝部件。

14.如权利要求1所述的方法，其中，在所述重复所述浸泡并用研磨垫擦洗所述铝部件至少3次之后，该方法还包括：

用约2wt%的HNO₃溶液擦拭所述铝部件约2分钟；以及

用去离子水漂洗所述铝部件约2分钟，随后吹除过量的去离子水。

15.如权利要求1所述的方法，其中，在所述重复所述浸泡并用研磨垫擦洗所述铝部件至少3次之后，该方法还包括：用包括约5vol%的98wt%的H₂SO₄、约5vol%的30wt%的H₂O₂以及约90vol%的去离子水的稀硫酸过氧化物擦拭所述铝部件约2分钟，随后用去离子水漂洗约2分钟，并吹除过量的水。