[发明专利]一种靶材组件的制备方法在审
| 申请号： | 201310654242.8 | 申请日： | 2013-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN104690410A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 万小勇;何金江;徐学礼;曾浩;王越;董亭义;罗俊峰;陈明 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/08 | 分类号： | B23K20/08;B23K20/24 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 陈波 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 组件 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶材组件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）根据溅射靶材组件的尺寸准备爆炸焊接用靶材和背板，对其校平、清洗；保证其表面平面度＜2mm/m，粗糙度Ra≤3.2μm；
（2）在靶材或背板非结合的一侧铺放炸药，进行爆炸焊接，形成复合板坯；
（3）对复合板坯进行校平处理，校平后的平面度≤2mm/m；
（4）采用超声A扫或C扫对复合板坯进行无损探伤，检验合格的复合板坯根据溅射靶尺寸规格进行分割，制成粗坯，再加工到成品。
2.根据权利要求书1所述的靶材组件的制备方法，其特征在于，所述靶材为纯铝、铝硅合金、铝铜合金或铝硅铜合金。
3.根据权利要求书1所述的靶材组件的制备方法，其特征在于，所述背板为纯铜、铜铬合金、铜锌合金或铜镍硅合金。
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