[发明专利]一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法

权利要求书

1.一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

（1）获取表面含有浮雕微纳米结构的硅、石英或二氧化硅原始母板，并对母板进行表面防粘处理；

（2）配制杨氏模量大于50MPa的巯基-烯材料；

（3）将步骤（2）中配制的巯基-烯材料均匀涂覆在步骤（1）中经过处理的原始母板上；

（4）获取一块用弹性胶质材料制备的柔性基板，轻轻地覆盖在步骤（3）中的巯基-烯材料上；

（5）放置在紫外光下固化；

（6）固化成型后，将由巯基-烯材料结构层和柔性基板组成的复合结构从原始母板上剥离下来；

（7）对步骤（6）中的复合结构进行与步骤（1）中相同的表面防粘处理，获得可用于紫外光固化软印刷技术的柔性复合模板。

2.按照权利要求1所述紫外光固化软印刷复合模板的制备方法，其特征在于所述步骤（1）对母板进行表面防粘处理具体如下：

（11）对母板表面进行氧气反应离子刻蚀，刻蚀功率为30W，氧气流量为40sccm，刻蚀时间为2分钟，以清洁结构表面；

（12）把步骤（11）中的母板放在防粘容器内，对防粘容器抽真空，使容器中的压强降低为5Pa；

（13）关闭真空阀门，保持容器中的压强，慢慢地打开表面活性剂阀门，所述表面活性剂为1H,1H,2H,2H-全氟癸基三氯硅烷，使容器的压强升到40Pa，然后关闭阀门，等待10分钟；

（14）打开真空阀门抽真空，使容器中压强再次降到5Pa，然后关闭真空阀，慢慢地打开超净水阀门，使容器中压强升到104Pa，关闭阀门，等待10分钟；

（15）重复（12）至（14）步骤两次；

（16）向防粘容器中冲入氮气，取出母板。

3.按照权利要求1所述的紫外光固化软印刷复合模板的制备方法，其特征在于所述步骤（2）中巯基-烯单体材料由巯基单体材料和烯烃单体材料光聚合反应生成，其中巯基单体材料包括聚巯基丙基硅氧烷、季戊四醇四-3-巯基丙酸酯、1,2-乙二硫醇、1,6-己二硫醇、烯丙氧丙基甲基硅氧烷均聚物；烯烃单体材料包括乙氧双酚A甲基丙烯酸双酯、三聚氰酸三烯丙酯、二甲基丙酸乙二醇酯、季戊四醇三丙烯酸酯。

4.按照权利要求1所述的紫外光固化软印刷复合模板的制备方法，其特征在于所述步骤（4）中用于制备柔性基底的弹性胶质材料为杨氏模量在1～20MPa范围内的，紫外光透过率大于90%的紫外光固化材料和热固化材料，包括巯基-烯材料，聚二甲基硅氧烷。