[发明专利]一种拼贴法制备单片集成电容触摸屏的动态电子掩模板系统

权利要求书

1.一种拼贴法制备单片集成电容触摸屏的动态电子掩模板系统，其特征在于它包括：

基板承载系统：包括承载板和整列方式排列在承载板上的小片玻璃；

视觉识别系统：用于识别承载板身份和排列在承载板上的各小片玻璃位置，生成承载板身份信息和各小片玻璃坐标位置信息；

填充图形设计系统：用于设计各小片玻璃的填充图形；

图像数据处理系统:用于识别承载板身份信息、各小片玻璃坐标位置信息和填充图形；

动态数字化掩膜图形调整系统：用于从图像数据处理系统中读取填充图形，根据各小片玻璃坐标位置信息，将填充图形填充到对应的位置，形成动态数字化掩膜模拟图形；

电子掩膜板系统：用于将动态数字化掩膜模拟图形以可视化形式显示出来，形成需要曝光的电子掩膜。

2.根据权利要求1所述的拼贴法制备单片集成电容触摸屏的动态电子掩模板系统，其特征在于该系统按照如下步骤制备单片集成电容触摸屏：

A、母板及小片玻璃制作

a、将大片玻璃切割成若干个小片玻璃；

b、将各小片玻璃进行高温化学强化并处理玻璃边缘；

c、将强化处理后的各小片玻璃按照预定掩模图形位置定位排列在曝光大片玻璃托架上，并在小片玻璃上设计定位标识，以便曝光视觉系统对小片玻璃进行准确的定位；

B、承载母板玻璃丝印

a、承载母板清洗烘干后固定在贴片台上，并通过对位标识及坐标原点确定承载母板在贴片台上的位置；

b、按照掩膜板对应填充图形位置，制作网板，通过视觉识别系统自动对位，丝印网板上对位标识与母板对位标识套合完全后丝印水溶性粘合剂；

C、小片玻璃对位贴合

a、将小片玻璃固定于发料机上，通过视觉识别系统图像扫描，辨识出小片玻璃黑色内边框，并以固定一点为识别坐标点；

b、通过贴片机械手，按照掩膜板中预定小片玻璃位置，对应母板零点，以识别坐标点，将小片玻璃按照相应位移进行对位贴合在承载母板上；

D、识别小片玻璃位置和角度

视觉识别系统在X方向和Y方向进行两维扫描整个承载母板上每个小片玻璃的图形，同时在Z方向进行整版高度扫描，通过图形成像后边缘灰阶的差异来抓取图形边缘，计算出曝光图形填充的准确中心位置，高度和角度；

E、曝光图形填充至小片玻璃位置

将需要曝光的曝光图形填充至小片玻璃定位框内，形成符合小片玻璃定位的动态数字化掩膜模拟图形；

F、生成电子掩膜

动态数字化掩膜模拟图形输入至电子掩膜板系统中，电子掩膜板系统将动态数字化掩膜模拟图形转化后显示在电子掩膜板上，形成需要曝光的电子掩膜板；

G、曝光光刻

在形成电子掩膜板后，开启曝光程序对小片玻璃进行图形曝光。