[发明专利]一体化微针阵列及其制造方法

权利要求书

1.一种微针阵列，其包括基板和与基板结合的一组微针，所述微针包括具有多个孔的多孔陶瓷材料或多孔陶瓷复合材料，所述孔的直径在10至200nm范围内。

2.根据权利要求1所述的微针阵列，其特征在于，所述微针基本无缝地穿入所述基板。

3.根据权利要求1所述的微针阵列，其特征在于，所述一组微针包括具有不同长度的微针。

4.根据权利要求3所述的微针阵列，其特征在于，所述一组微针包括在其外围上基本彼此相对地设置的至少第一微针和第二微针，其中所述至少第一微针和第二微针相对于所述一组微针的其它微针具有增加的长度。

5.根据权利要求4所述的微针阵列，其特征在于，所述至少第一微针和第二微针的长度比所述一组微针的其它微针的长度长至少1-10%。

6.根据前述权利要求1所述的微针阵列，其特征在于，所述微针被形成为带有设想成与材料阻挡物相互作用的倾斜尖端。

7.根据权利要求6所述的微针阵列，其特征在于，所述微针阵列包括一个或多个子组，其中微针具有向内或向外定向的倾斜尖端。

8.根据前述权利要求1所述的微针阵列，其特征在于，所述微针包括具有不同结构的尖端形状。

9.根据前述权利要求1所述的微针阵列，其特征在于，至少一个微针包括用于引导流体从其中通过的通道。

10.一种包括根据权利要求1所述的微针阵列的复合物，所述复合物包括一种物质，所述物质设计成使用所述微针输送穿过材料阻挡物、或者设计成与使用所述微针经由材料阻挡物抽出的另一种物质特异结合。

11.根据权利要求10所述的复合物，其特征在于，所述微针设有至少部分地填充有所述物质的孔。

12.根据权利要求10所述的复合物，其特征在于，所述微针包括具有不同功能和/或不同几何形状的微针子组。

13.一种用于使物质能够穿过材料阻挡物输送的系统，所述系统包括根据权利要求1所述的微针阵列。

14.一种使用电极测量电信号的系统，其中所述电极包括根据权利要求1所述的微针阵列中的至少一个微针。