[发明专利]一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器

权利要求书

1.一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器，包括测量微压力引起机械振动的金属弹性元件（1），其特征在于：在所述金属弹性元件（1）的顶部粘贴有挠曲电介电薄膜（2），周边设置有绝缘层（3），所述挠曲电介电薄膜（2）上下表面分别设置有上金属电极（4）和下金属电极（5），所述挠曲电介电薄膜（2）的上金属电极（4）和下金属电极（5）分别连接有两条输出测量电荷信号的引线（6），所述金属弹性元件（1）下方具有施加压力的压力通道（7），所述挠曲电介电薄膜（2）连同上金属电极（4）和下金属电极（5）均置于外壳（8）内，两条引线（6）的一端从外壳（8）引出。

2.根据权利要求1所述的一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器，其特征在于：所述金属弹性元件（1）也置于外壳（8）内。

3.根据权利要求1所述的一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器，其特征在于：所述引线（6）与挠曲电介电薄膜（2）的上金属电极（4）和下金属电极（5）分别通过引线键合的方式连接。

4.根据权利要求1所述的一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器，其特征在于：所述挠曲电介电薄膜（2）为钛酸锶钡薄膜。

5.根据权利要求1所述的一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器，其特征在于：所述挠曲电介电薄膜（2）粘贴在金属弹性元件（1）的顶部中央。

6.根据权利要求1所述的一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器，其特征在于：所述金属弹性元件（1）的顶部全部嵌入挠曲电介电薄膜（2）。

7.根据权利要求1所述的一种高精度基于金属弹性元件的挠曲电式压力传感器，其特征在于：所述金属弹性元件（1）通过其周边的绝缘层（3）固定在置于金属弹性元件（1）下方的底座（9）上，所述底座（9）为中空结构形成压力通道（7）。