[发明专利]一种基于视觉的晶圆旋转纠正与中心定位的方法

权利要求书

1.一种基于视觉的晶圆旋转纠正与中心定位的方法，包括以下步骤：

S1、获取晶圆图像并获得相机的位置；

S2、由图像处理算法提取晶圆图像的边缘；

S3、分割晶圆图像的边缘；

S4、得到晶圆轮廓中的圆边和切边轮廓进行圆和直线的拟合；

S5、利用拟合出来的圆和直线计算出晶圆的中心位置的坐标和偏转角度；

S6、进行晶圆旋转纠正与中心定位。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：在步骤S5中，是将晶圆相对相机的位置坐标作为晶圆的中心位置的坐标。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：在步骤S6中，是将晶圆的中心位置的坐标加上相机本身相对工作台的偏差作为最终的定位偏移量，以实现晶圆中心定位处理的。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：在步骤S5中，是根据所述晶圆切边直线斜率计算偏转角度。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：在步骤S6中，是令晶圆旋转该偏转角度以实现晶圆旋转纠正处理的。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：在步骤S1中，是通过相机拍摄以获取晶圆图像的。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述晶圆为一个带有切边的圆形结构。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：在步骤S5中，拟合出来的圆的方程可以记为：(x-a)²+(y-b)²=R²，其中，a和b为晶圆的中心位置的坐标，R为晶圆的半径。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：在步骤S5中，拟合出的直线的方程可以记为：y=k×x+m，其中，k为直线的斜率，可以通过这个斜率k，计算出晶圆的偏转角度θ，θ=tan^-1(k)。