[发明专利]一种承载基板和柔性显示器件制作方法有效

专利信息
申请号: 201310662795.8 申请日: 2013-12-09
公开(公告)号: CN103700662B 公开(公告)日: 2017-02-15
发明(设计)人: 王辉锋 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 代理人: 柴亮,张天舒
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 承载 柔性 显示 器件 制作方法
【权利要求书】:

1.一种承载基板,用于在所述制造柔性显示器件的过程中承载柔性基板,其特征在于,所述制造柔性显示器件的承载基板包括基板、气体产生层,所述气体产生层位于所述基板上,所述柔性膜位于所述气体产生层上,所述气体产生层的材质能够分解并产生气体。

2.根据权利要求1所述的承载基板,其特征在于,所述气体产生层的材料的带隙能量为2eV~7eV。

3.根据权利要求2所述的承载基板,其特征在于,所述气体产生层的材料包括GaN或AlN,或者所述气体产生层的材料包括GaN与AlN的混合物。

4.根据权利要求3所述的承载基板,其特征在于,所述气体产生层的材料还包括光热转换材料。

5.根据权利要求2所述的承载基板,其特征在于,所述基板的材料的带隙能量大于7eV。

6.根据权利要求5所述的承载基板,其特征在于,所述基板的材料为玻璃或者透明的陶瓷。

7.根据权利要求1至6中任意一项所述的承载基板,其特征在于,所述气体产生层的厚度为10nm~100μm。

8.根据权利要求7所述的承载基板,其特征在于,所述气体产生层的厚度为200nm~500nm。

9.一种柔性显示器件的制作方法,其特征在于,所述柔性显示器件的制作方法包括:

在基板上形成气体产生层,且所述气体产生层的材质能够分解并产生气体;

在所述气体产生层上形成柔性膜;

在所述柔性膜上形成显示器件层;

使所述气体产生层的材质分解并产生气体以将所述柔性膜与所述基板分离。

10.根据权利要求9所述的柔性显示器件的制作方法,其特征在于,所述使所述气体产生层的材质分解并产生气体,包括:用激光照射所述气体产生层,使所述气体产生层在吸收激光能量后分解并产生气体。

11.根据权利要求10所述的柔性显示器件的制作方法,其特征在于,所述用激光照射所述气体产生层,包括:

用激光沿预定轨迹照射所述基板,使激光穿过所述基板后照射所述气体产生层。

12.根据权利要求11所述的柔性显示器件的制作方法,其特征在于,所述用激光沿预定轨迹照射所述基板,使激光穿过所述基板后照射所述气体产生层,包括:

用激光从所述气体产生层的一边至与该一边相对的另一边扫描照射所述基板。

13.根据权利要求11所述的柔性显示器件的制作方法,其特征在于,所述用激光沿预定轨迹照射所述基板,使激光穿过所述基板后照射所述气体产生层,包括:

用激光从所述气体产生层的边缘至所述气体产生层的中心扫描照射所述基板。

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