[发明专利]工艺流程控制方法以及工艺流程控制系统

权利要求书

1.一种工艺流程控制方法，用于对待处理的产品晶圆组在工艺机台上进行批量处理，预先设置特殊工艺流程、正常工艺流程和公共档控片工艺流程，所述工艺流程控制方法包括：

步骤一：判断所述待处理的产品晶圆组中是否含有需执行特殊工艺流程的产品晶圆组，如果没有需执行特殊工艺流程的晶圆组，则进行步骤二；如果有需执行特殊工艺流程的晶圆组，则进行步骤三；

步骤二：按照正常工艺流程对所述待执行晶圆组进行批量处理；

步骤三：将所述公共档控片的程式设置为所述特殊工艺流程中的所述工艺机台的程式，使用所述公共档控片工艺流程对所述待执行晶圆组进行批量处理。

2.如权利要求1所述的工艺流程控制方法，其特征在于，如果有需执行特殊工艺流程的晶圆组，所述工艺流程控制方法还包括：

判断所述特殊工艺流程的产品晶圆组中的是否具有正常的产品晶圆，如果有正常的产品晶圆，则进行步骤二；如果没有正常的产品晶圆，则进行步骤三。

3.如权利要求2所述的工艺流程控制方法，其特征在于，通过所述待处理的产品晶圆组的属性值来判断所述特殊工艺流程的产品晶圆组中的是否具有正常的产品晶圆。

4.如权利要求1-3中任意一项所述的工艺流程控制方法，其特征在于，所述工艺流程控制方法还包括：

在进行步骤一之前，将所述待处理的产品晶圆组预先停留在需进行批量处理的工序；

在进行对所述待执行晶圆组进行批量处理之后，所述待处理的晶圆组依照各自的工艺流程进入到下一步工序，并等待后续处理。

5.一种工艺流程控制系统，用于对待处理的产品晶圆组在工艺机台上进行批量处理，包括：

工艺流程存储模块，存储有预先设置的特殊工艺流程、正常工艺流程；

公共档控片工艺流程设置模块，用于设置公共档控片工艺流程；

批量处理模块，用于判断一待处理的产品晶圆组中是否含有需执行特殊工艺流程的产品晶圆组，当所述待处理的产品晶圆组中没有需执行特殊工艺流程的晶圆组，所述批量处理模块按照正常工艺流程对所述待执行晶圆组进行批量处理；当所述待处理的产品晶圆组中具有需执行特殊工艺流程的晶圆组，所述批量处理模块将所述公共档控片的程式设置为所述特殊工艺流程中的所述工艺机台的程式，使用所述公共档控片工艺流程对所述待执行晶圆组进行批量处理。

6.如权利要求5所述的工艺流程控制系统，其特征在于，所述批量处理模块还用于判断所述特殊工艺流程的产品晶圆组中的是否具有正常的产品晶圆：

如果有需执行特殊工艺流程的晶圆组，所述批量处理模块判断所述特殊工艺流程的产品晶圆组中的是否具有正常的产品晶圆，如果有正常的产品晶圆，所述批量处理模块按照正常工艺流程对所述待执行晶圆组进行批量处理；如果没有正常的产品晶圆，所述批量处理模块将所述公共档控片的程式设置为所述特殊工艺流程中的所述工艺机台的程式，使用所述公共档控片工艺流程对所述待执行晶圆组进行批量处理。

7.如权利要求6所述的工艺流程控制系统，其特征在于，所述批量处理模块通过所述待处理的产品晶圆组的属性值来判断所述特殊工艺流程的产品晶圆组中的是否具有正常的产品晶圆。

8.如权利要求5-7中任意一项所述的工艺流程控制系统，其特征在于，所述工艺流程控制系统还包括特殊工艺流程配置模块和特殊工艺流程执行模块，所述特殊工艺流程配置模块用于设置待处理的产品晶圆在每一工序的工艺参数，所述特殊工艺流程执行模块对所述待处理的产品晶圆进行工艺流程变更的动作，将所述待处理的产品晶圆从所述正常工艺流程变更到所述特殊工艺流程上；当特殊流程的所有步骤执行完毕后，所述特殊工艺流程执行模块将所述待处理的产品晶圆从所述特殊工艺流程变更到所述正常工艺流程的指定步骤。

9.如权利要求5所述的工艺流程控制方法，其特征在于，所述工艺机台为炉管机台。