[发明专利]垫料高度测量机自动补正方法及系统

说明书

技术领域

本发明涉及液晶显示器生产技术，更具体地说，涉及一种垫料高度测量机自动补正方法及系统。

背景技术

在液晶显示器的生产过程中，垫料高度测量机是TFT-LCD制程重要的光学量测机台，主要用于量测TFT基板与CF基板之间支撑物高度、线宽以及重叠情况等。垫料高度测量机的基本原理是利用白光干涉，从一个光源照射进入的光，分成两条经过不同路线的光束，一条经反射镜反射，另一条经要测物体的反射；两条反射光束相互产生干这涉，以干涉波纹的差异来测量物体的高度。实际生产中，其光源为LED灯，LED灯的衰减或是品质问题或稳定性差，会导致发出的光亮度变异。亮度变异将会引起量测不稳定或者重大异常，从而无法正确反映产品真实特性，甚至误判制程设备异常，造成重大生产异常。

所以，为了提高量测的稳定性，减少LED亮度变异造成的量测变异，需要建立一个针对LED亮度进行自动补正的方法和系统。

发明内容

本发明要解决的问题是，针对现有的垫料高度测量机的探测光源的亮度变异会造成量测的误差，提供一种垫料高度测量机自动补正方法和系统，以克服上述的缺陷。

本发明所提供的垫料高度测量机自动补正方法，包括以下的步骤：

S1、在垫料高度测量机的机台或外框开设载物孔，在载物孔中安装补正样片；

S2、使用垫料高度测量机的探头对补正样片进行拍摄，并选择标准图像；

S3、通过调节探头电流以调节探头拍摄图像的亮度和灰阶，使得探头拍摄图像的亮度和灰阶与标准图像匹配。

本发明的垫料高度测量机自动补正方法，步骤S1中，载物孔长度为1.5厘米至2.5厘米，宽度为1.5厘米至2.5厘米，深度为0.08厘米至0.12厘米。

本发明的垫料高度测量机自动补正方法，步骤S1中，补正样片在载物孔后内的安装高度低于机台的台面。

本发明的垫料高度测量机自动补正方法，其中步骤S2中，获取标准图像的步骤还包括：

调节探头的光源电流以调节探头获取的图像画质，当探头获取图像无斑纹且亮度最大时，判断探头获取的图像为标准图像。

本发明的垫料高度测量机自动补正方法，还包括以下步骤：

S0、当进行手动补正的时候，在垫料高度测量机空闲时停止进料；当进行定时补正的时候，设定补正时间，并在达到补正时间时检测当前垫料高度测量机是否处于空闲状态，在垫料高度测量机空闲时停止进料。

本发明还提供一种垫料高度测量机自动补正系统，包括用于放置检测样品的机台和围绕在机台外周的外框，还包括平行的设置在外框两侧的导轨，垫料高度测量机自动补正系统还包括可滑动的安装在导轨上的检测架和多个可滑动的安装在检测架上的探头，每个探头包括探测光源；

机台上或者外框开设有载物孔，在载物孔中安装有补正样片；垫料高度测量机自动补正系统还包括与探头连接，用于对补正样片进行拍摄，并选择标准图像的标准图像获取模块；以及与探头及标准图像获取模块连接，用于调节探头的电流，进而调节探头拍摄图像的亮度和灰阶，使得探头拍摄图像亮度和灰阶与标准图像匹配的标准图像匹配模块，。

本发明的垫料高度测量机自动补正系统，载物孔长度为1.5厘米至2.5厘米，宽度为1.5厘米至2.5厘米，深度为0.08厘米至0.12厘米。

本发明的垫料高度测量机自动补正系统，补正样片在载物孔内的安装高度低于机台的台面。

本发明的垫料高度测量机自动补正系统，标准图像获取模块调节探头的光源电流，当探头获取图像无斑纹且亮度最大时，判断探头获取的图像为标准图像。

本发明的垫料高度测量机自动补正系统，还包括与垫料高度测量机连接的补正模式选择组件，

当补正模式选择组件进行手动补正的时候，在垫料高度测量机空闲时停止进料；当补正模式选择组件进行定时补正的时候，设定补正时间，并在达到补正时间时检测当前垫料高度测量机是否处于空闲状态，在垫料高度测量机空闲时停止进料。

实施本发明的垫料高度测量机自动补正方法及系统，对垫料高度测量机的检测光源进行补正，使得光源的亮度更为稳定，从而保证了垫料高度测量机的测量准确性与检测结果的稳定性；另外通过调节电流可以延长检测光源的使用寿命。

附图说明

以下结合附图对本发明进行详细说明，其中：

图1为现有的垫料高度测量机的结构示意图；

图2为本发明一则优选实施例所提供的垫料高度测量机的结构示意图；