[发明专利]一种毛细玻璃管内壁等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201310666596.4 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN103681197A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 沈文凯;王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/04 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏伟 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃管 内壁 等离子体 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1. 一种毛细玻璃管内壁等离子体处理装置，其特征在于，包括电极组件、高频电源和负压装置，所述电极组件包括第一电极件和第二电极件，所述第二电极件上设置有贯通所述第二电极件的第二腔体，所述第一电极件套设于所述第二腔体中，所述第一电极件外表面与所述第二腔体壁之间形成用于放置毛细玻璃管的反应腔，所述第一电极件与所述高频电源正极连接，所述第二电极件接地，所述负压装置与毛细玻璃管一端连接。
2. 根据权利要求1所述的毛细玻璃管内壁等离子体处理装置，其特征在于，所述第一电极件上设置有贯通所述第一电极件的第一腔体。
3. 根据权利要求2所述的毛细玻璃管内壁等离子体处理装置，其特征在于，所述第一电极件和所述第二电极件为中空圆柱体状并且圆柱轴心在同一直线上。
4. 根据权利要求3所述的毛细玻璃管内壁等离子体处理装置，其特征在于，还包括用于放置所述电极组件的绝缘底座，所述电极组件设置于所述绝缘底座上。
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