[发明专利]重力补偿装置有效
| 申请号： | 201310670339.8 | 申请日： | 2013-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN104698766B | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 廖飞红;戴乐薇;朱岳彬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 重力 补偿 装置 | ||
1.一种重力补偿装置，用于支撑光刻机中工件台和掩模台的微动台，其特征在于，包括：底座、活塞、护套、摆机构、气囊结构和负载板；其中，所述底座中设有气室，用于支撑位于所述气室顶部的活塞；护套套设在活塞上并与底座刚性连接；所述气囊结构连接在活塞与护套之间，与所述摆机构串联；所述摆机构连接在负载板与活塞之间。
2.如权利要求1所述的重力补偿装置，其特征在于，所述摆机构包括刚性杆、柔性杆和连接板；其中，所述负载板通过刚性杆与所述连接板连接，所述连接板通过柔性杆与活塞连接。
3.如权利要求2所述的重力补偿装置，其特征在于，所述连接板为圆环状。
4.如权利要求2所述的重力补偿装置，其特征在于，所述刚性杆设有3～4根，对称设置在同一圆周上。
5.如权利要求2所述的重力补偿装置，其特征在于，所述柔性杆设有3～4根，对称设置在同一圆周上。
6.如权利要求2所述的重力补偿装置，其特征在于，所述柔性杆和刚性杆间隔设置在同一圆周上。
7.如权利要求2所述的重力补偿装置，其特征在于，所述柔性杆的直径范围为0.5mm～10mm。
8.如权利要求2所述的重力补偿装置，其特征在于，所述柔性杆采用不锈钢或弹簧钢。
9.如权利要求1所述的重力补偿装置，其特征在于，所述气囊结构的支撑面与活塞的运动方向垂直或平行。
10.如权利要求1所述的重力补偿装置，其特征在于，所述底座与护套之间设置有密封圈。
11.一种重力补偿装置，用于支撑光刻机中工件台和掩模台的微动台，其特征在于，包括：底座、活塞、护套、摆机构、气囊结构和负载板；其中，所述底座中设有气室，用于支撑位于所述气室顶部的活塞；护套套设在活塞上并与底座刚性连接；所述气囊结构连接在活塞与护套之间；所述摆机构包括刚性杆、柔性杆和连接板，其中，所述负载板通过刚性杆与所述连接板连接，所述连接板通过柔性杆与活塞连接。
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