[发明专利]一种浸没式光刻机的液体控制装置有效
| 申请号： | 201310671750.7 | 申请日： | 2013-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN104698767B | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 张崇明;聂宏飞;杨志斌;张洪博;赵丹平;赵旭 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 浸没 光刻 液体 控制 装置 | ||
【说明书】：
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