[发明专利]一种新型碘化铯闪烁屏的制备方法

权利要求书

1.一种新型碘化铯闪烁屏的制备方法，其特征在于，该制备方法包括如下步骤：a）选备底层，b）制备碘化铯层，c）制备碘化铊层，d）闪烁屏后处理。

2.根据权利要求1所述的新型碘化铯闪烁屏的制备方法，其特征在于，所述的步骤a）中，底层材质选用玻璃或光纤维面板，使用前需进行超声清洗，清洗完毕后进行烘干处理。

3.根据权利要求1所述的新型碘化铯闪烁屏的制备方法，其特征在于，所述的步骤b）中，碘化铯层采用真空热蒸镀工艺进行制备，制备过程如下：首先，定量称取碘化铯粉末，并置于蒸镀舟内，蒸镀舟与底层之间的距离控制在15-20cm；然后，将蒸镀室抽真空，真空度控制在10                                               -10torr，底层采用电热丝加热至220℃-240℃；接着，打开蒸镀舟电源，蒸镀舟温度上升至440℃-480℃后，通入氩气，氩气的气流速度控制在3-4m/s，气压值为0.4-0.5Pa，热蒸镀的实施时间控制在10-12分钟；最后，在30℃-35℃的干燥箱内进行干燥处理，处理时间约为40-60分钟，处理后冷却至室温。

4.根据权利要求1所述的新型碘化铯闪烁屏的制备方法，其特征在于，所述的步骤c）中，碘化铊层采用磁控溅射镀膜工艺进行制备，靶材为碘化铊微粉；射频电源为2000W，真空室的真空度控制在10-10torr，底层温度控制在320℃-340℃；溅射气体选用氩气，气压值控制在1-1.2Pa，溅射电压为2kV，入射角为60°，沉积速度控制在20A/s。

5.根据权利要求1所述的新型碘化铯闪烁屏的制备方法，其特征在于，所述的步骤d）中，闪烁屏置于热风循环干燥箱内进行干燥处理，处理过程中通氮气，热风的循环温度控制在20℃-25℃，处理时间约为12-30小时。