[发明专利]由基于硅的材料制成的宝玑双层游丝

说明书

本申请是申请日为2009年12月15日、名称为“由基于硅的材料制成的宝玑双层游丝”的专利申请No.200910259156.0的分案申请。

技术领域

本发明涉及宝玑双层游丝/挑框游丝（Breguet overcoil balance spring）及其制造方法，并且更具体地涉及由基于硅的材料制成的这种类型的游丝。

背景技术

时计的调节部件通常包括称为摆轮的惯性飞轮和称为游丝的谐振器。这些部件决定了时计的工作品质。实际上，它们调节机芯的工作，即，它们控制机芯的频率。

使用基于硅的材料制造时计部件是已知的。由于尤其在电子领域内的当前方法的进步，可微机械加工材料例如硅的使用在制造精度方面具有优点。还可利用硅对磁力和温度变化具有非常低的敏感性的优点。但是，由于当前不能制造具有若干层级的硅部件，因此要被制造的部件必须是平的。

发明内容

本发明的目的是，通过提出一种易于制造并且使得变差（rate variation）减小的由基于硅的材料制成的宝玑双层游丝，以克服全部或一部分上述缺陷。

因此，本发明涉及一种由基于硅的材料制成的宝玑双层游丝，该宝玑双层游丝包括与内桩同轴地形成一体件的细弹簧、末端弯曲以及用于所述细弹簧的外圈和所述末端弯曲的提升装置（elevation device），该游丝包括相互固定在一起的两个单独部件，以提高所述游丝的扩展精度，其特征在于，该提升装置包括至少一个立柱，该至少一个立柱将所述外圈的一端连接到所述末端弯曲的一端且与细弹簧-内桩组件或末端弯曲形成一体。

有利地，由在多层基于硅的材料上制成的两个单独部件形成简单组件，该组件几乎对磁力和温度变化不敏感，并且不再需要当前使用的用于由金属条制造这种游丝的复杂调整步骤。

根据本发明的其它有利特征：

-提升装置包括至少一个附加立柱，该至少一个附加立柱将所述外圈的一端连接到所述末端弯曲的一端且与末端弯曲或细弹簧-内桩组件形成一体；

-每个所述至少一个立柱都固定在凹部中，该凹部形成于与所述至少一个立柱的端部相对的端部中；

-提升装置包括至少一个间隔件，该间隔件安装成用于所述至少一个立柱的加强件，以保持所述外圈的端部与所述末端弯曲的端部之间的预定间隔；

-所述至少一个间隔件与末端弯曲和/或细弹簧-内桩组件形成一体；

-提升装置的组装在细弹簧-内桩组件和末端弯曲之间是反向的（reversed）；

-提升装置还包括用于提高所述至少一个立柱的固定力的固定装置；

-固定装置包括粘结材料、所述材料的氧化物层、或金属层；

-游丝包括至少一个硅氧化物（silicon oxide）部分，以使游丝具有更高的机械强度/更大的机械抵抗力并改善游丝的热弹性系数；

-所述末端弯曲是菲利普斯（Philips）弯曲，以改善所述游丝的同心扩展；

-所述细弹簧的至少一个内圈包括格罗斯曼（Grossmann）弯曲，以改善所述游丝的同心扩展。

此外，本发明涉及一种时计，其特征在于，该时计包括根据前述变型中的任一个的宝玑双层游丝。

最后，本发明涉及制造宝玑双层游丝的方法，该方法包括以下步骤：

a）提供第一衬底，该第一衬底包括基于硅的顶层和底层，该顶层和底层通过中间层相互连接在一起；

b）在顶层中选择性地蚀刻至少一个凹腔，以限定末端弯曲或与细弹簧同轴地形成一体的内桩；

其特征在于，所述方法还包括以下步骤：

c)在底层中选择性地蚀刻至少一个凹腔，以限定至少一个立柱，该至少一个立柱连接到末端弯曲的一端或连接到所述细弹簧的外圈；

d）提供具有基于硅的层的第二衬底；

e）在所述第二衬底的层中选择性地蚀刻至少一个凹腔，以限定与细弹簧同轴地形成一体的内桩或限定末端弯曲，该细弹簧的外圈包括至少一个凹部，该末端弯曲的一端具有至少一个凹部；

f）将所述至少一个立柱组装在所述至少一个凹部中，以形成宝玑双层游丝。

有利地，与当前使用的用于由金属条制造这种游丝的复杂调整步骤相比，较少的步骤就能制造由基于硅的材料制成的具有提高的精度的游丝。

根据本发明的其它有利特征：