[发明专利]一种悬浮式多爪栅极组合及其装配方法

权利要求书

1.一种悬浮式多爪栅极组合，其特征在于，包括绝缘陶瓷衬套、凹型绝缘陶瓷、凸型绝缘陶瓷、螺栓、螺母，其中，螺栓上套接加速栅极，加速栅极上下两面由凹型绝缘陶瓷和凸型绝缘陶瓷配合固定，且凹型绝缘陶瓷和凸型绝缘陶瓷分别通过绝缘陶瓷衬套固定在束压栅极和接地栅极的内侧，且螺栓穿过凹型绝缘陶瓷后顺次贯穿接地栅极、加速栅极和束压栅极，再由螺母固定。

2.根据权利要求1所述的悬浮式多爪栅极组合，其特征在于，所述加速栅极、束压栅极和接地栅极中间均为产生离子束的工作区域，边缘设置有若干圆周对称的栅极爪1，栅极爪中间设置有中心孔2以及围绕中心孔2并成圆对称分布的若干螺钉孔3。

3.根据权利要求1所述的悬浮式多爪栅极组合，其特征在于，束压栅极工作区域的蜂窝小孔孔径大于加速栅极工作区域对应的蜂窝小孔孔径。

4.根据权利要求1所述的悬浮式多爪栅极组合，其特征在于，加速栅极的栅极爪包括电极导引孔。

5.根据权利要求1所述的悬浮式多爪栅极组合，其特征在于，绝缘陶瓷衬套与凹型绝缘陶瓷和凸型绝缘陶瓷之间设置有垫片。

6.一种悬浮式多爪栅极组合的装配方法，其装配步骤如下：

步骤1：在接地栅极和束压栅极的所有栅极爪上固定一个绝缘陶瓷衬套；

步骤2：准备几个螺栓，其数量与栅极爪的数目相同，在每个螺栓上分别装入一个凹型绝缘陶瓷；

步骤3：将上述串好陶瓷的螺栓呈圆对称排布，并将其串入接地栅极的每个爪的中心大孔中，使凹型绝缘陶瓷的背面支撑接地栅极的绝缘陶瓷衬套；

步骤4：接地栅极每个爪的绝缘陶瓷衬套中放入一个凸形绝缘陶瓷；

步骤5：放入加速栅极，使凸型绝缘陶瓷的上表面支撑加速栅极；

步骤6：再在每个螺栓上放入一个凹型绝缘陶瓷，使凸凹陶瓷实现咬合；

步骤7：在凹型绝缘陶瓷上放置装有绝缘陶瓷衬套的束压栅极；

步骤8：最后用螺母将所有的螺栓进行固定。