[发明专利]一种MEMS开关仿真分析方法在审
| 申请号： | 201310675674.7 | 申请日： | 2013-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN103678804A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 苗晓丹;戴旭涵;黄奕 | 申请（专利权）人： | 上海工程技术大学 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 何葆芳 |
| 地址： | 201620 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 开关 仿真 分析 方法 | ||
1.一种MEMS开关仿真分析方法，其特征在于，包括如下步骤：
a)建立MEMS开关的有限元模型；
b)分析MEMS开关在通电情况下的输出性能及内部磁场强度分布情况；
c)根据分析结果，对MEMS开关的结构进行优化。
2.如权利要求1所述的MEMS开关仿真分析方法，其特征在于，步骤a)包括如下操作步骤：
①创建MEMS开关的三维几何模型并设置材料属性和网格划分单元类型；
②对创建的三维几何模型进行网格划分；
③对进行网格划分的模型施加约束。
3.如权利要求2所述的MEMS开关仿真分析方法，其特征在于：步骤①设置SOLID96作为网格划分单元类型。
4.如权利要求2所述的MEMS开关仿真分析方法，其特征在于：步骤②采用自由划分网格方式进行网格划分。
5.如权利要求2所述的MEMS开关仿真分析方法，其特征在于：步骤③对进行网格划分的模型施加6个自由度的边界条件约束。
6.如权利要求1-5任一项所述的MEMS开关仿真分析方法，其特征在于：所述的MEMS开关包括电磁驱动器和设置在其顶部的磁性平台及其两者之间的气隙。
7.如权利要求6所述的MEMS开关仿真分析方法，其特征在于：所述的电磁驱动器由平面线圈及磁轭构成，所述的磁性平台位于平面线圈的上方，所述的磁轭分布于平面线圈的中央、边缘和底部。
8.如权利要求7所述的MEMS开关仿真分析方法，其特征在于：所述的平面线圈由铜电镀而成。
9.如权利要求7所述的MEMS开关仿真分析方法，其特征在于：所述的磁轭由铁镍材料电镀而成。
10.如权利要求7所述的MEMS开关仿真分析方法，其特征在于：所述的磁性平台由铁镍材料电镀而成。
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