[发明专利]一种新型微加热器及其制备方法

权利要求书

1.一种新型微加热器，由承载玻璃片(1)、镀金导电涂层(2)、加热单元(4)、电极柱(5)和铝制热沉平台(6)组成，其特征在于：承载玻璃片(1)位于铝制热沉平台(6)上方，承载玻璃片(1)表面镀有一层铬层，所述铬涂层表面镀有一层金层，通过对金层进行化学蚀刻，在承载玻璃片(1)表面得到所需几何形状的镀金导电涂层(2)；通过对铬层进行化学蚀刻，在承载玻璃片(1)表面得到所需几何形状且均匀分布的加热单元(4)，相邻的加热单元(4)通过并联连接；承载玻璃片(1)未镀金与铬面与铝制热沉平台(6)通过高效导热剂(7)进行粘接；镀金导电涂层(2)上设置电极柱(5)。

2.根据权利要求1所述的新型微加热器，其特征在于所述加热器通过直流电源供电。

3.一种如权利要求1所述的一种新型微加热器的制备方法，其特征在于具体步骤如下：

(1)、承载玻璃片(1)上表面镀50nm厚的铬涂层，之后在所得铬涂层表面上镀一层150nm厚的金涂层，得到镀金-铬的承载玻璃片(1)；

(2)、采用高速旋转涂层机，将正性光刻胶S1813在镀金-铬的承载玻璃片(1)上进行涂层，厚度为2                                                ；然后，经过一分钟的95度高温加热、紫外光曝光，将所需要的几何结构影印到镀金-铬的承载玻璃片(1)上，采用显影剂MF319进行显影；应用蚀刻溶液Gold Etchant TFA 对镀金导电涂层进行化学蚀刻，然后采用丙酮对蚀刻后的金-烙承载玻璃片(1)进行清洗，以除去剩余的正性光刻胶S1813，即获得所需几何结构的镀金导电涂层(2)；

(3)、再次采用正性光刻胶 S1813重复第二步的工作，但与第二步不同的是，将加热单元(4)的几何结构影印到承载玻璃片(1)上，采用蚀刻溶液Chrome Etch 18 对铬层进行蚀刻，获得所需的若干个独立加热单元(4)；

(4)、采用热致变色液晶材料对加热单元(4)的供热温度进行标定。