[发明专利]一种电镀装置

权利要求书

1.一种电镀装置，其特征在于，包括：

电解液槽，所述电解液槽内包括一个工件固定基座，基座底部包括一个工件支撑装置，所述工件支撑装置具有向上的开口以容纳工件，并使工件固定到支撑装置侧壁，一个电解液喷射装置向上延伸入所述工件支撑装置开口底部，基座内还包括电解液喷射流量控制装置控制电解液喷射装置的流量，其特征在于：所述电解液喷射装置包括多个喷口。

2.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述的电镀装置包括一个直流电源，直流电源包括一个阴极通过导线连接到所述支撑装置侧壁。

3.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述的电镀装置包括一个直流电源，直流电源包括一个阴极通过导线连接到所述电解液喷射装置。

4.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述电解液喷射流量控制器控制所述电解液喷射装置的多个喷口喷射流量不同。

5.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述支撑装置顶部开口大于底部开口。

6.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述的电镀装置用于电镀圆球形工件或者圆柱形工件。

7.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述的电镀装置的运行方法包括：放置工件到支撑装置，电解液喷射流量控制装置使所述电解液喷射装置具有较低流量，进行一段时间的电镀作业后电解液喷射流量控制装置使电解液喷射装置具有较高流量。

8.如权利要求7所述的电镀装置，其特征在于，所述的电镀装置运行方法包括：在电解液喷射装置具有较高流量时，电解液喷射装置内的多个喷口具有不同的流量，使得工件能够旋转。