[发明专利]太阳能电池电极的制备方法

权利要求书

1.太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

A.利用硝酸、氢氟酸混合液或氢氧化钠溶液在硅片表面制作绒面；

B.经过盐酸、氢氟酸溶液清洗后，将硅片置入扩散炉中进行扩散工序，温度为800-900℃，通入气体为氮气、氧气、三氯氧磷混合气体，处理时间为30-90分钟，在硅片表面形成30-150Ω／sqr发射结；

C.利用湿法刻蚀去除硅片边结；

D.利用PECVD设备在发射结表面制作氮化硅膜，膜厚控制在70-85nm，折射率控制在2.0-2.15；

E.利用丝网印刷设备制备正、背面电极以及背面电场，利用烧结炉进行电极、电场共烧处理。

其中，正面电极包括主栅线和多条相互平行的次栅线，次栅线垂直于主栅线；同一次栅线在宽度上为渐变结构，次栅线在与主栅线相交处为最大宽度；同一次栅线在厚度上也为渐变结构，次栅线在与主栅线相交处为最大厚度。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，所述同一次栅线在宽度上为阶梯渐变结构。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，所述同一次栅线在宽度上为斜坡渐变结构。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，所述同一次栅线在厚度上为阶梯渐变结构。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，所述同一次栅线在厚度上为斜坡渐变结构。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，所述次栅线宽度与次栅线距主栅线的距离成反比，为渐变结构。

7.根据权利要求1所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，所述，所述次栅线厚度与次栅线距主栅线的距离成反比，为渐变结构。

8.根据权利要求1所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，所述同一细栅线的宽度在40-80μm之间渐变。

9.根据权利要求1所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，所述同一细栅线的厚度在10-30μm之间渐变。

10.根据权利要求1所述的太阳能电池电极的制备方法，其特征在于，所述次栅线在与主栅线相交处的宽度与主栅线的宽度相同，次栅线在与主栅线相交处的厚度与主栅线的厚度相同。