[发明专利]一种基于柔性衬底的传感器模块有效
申请号: | 201310680558.4 | 申请日: | 2013-12-12 |
公开(公告)号: | CN103645215B | 公开(公告)日: | 2017-01-11 |
发明(设计)人: | 梁圣法;李冬梅;李小静;张浩;罗庆;周磊;刘明;谢常青;杨洪璋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00;G01N27/22;G01N27/04 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 柔性 衬底 传感器 模块 | ||
1.一种基于柔性衬底的传感器模块,其特征在于,该传感器模块包括传感器部分及天线部分,二者均以柔性绝缘材料为衬底,并通过导线或夹具连接,其中,传感器部分用于感知外部敏感信号,天线部分用于无线信号的传输及接收,二者结合实现在无线情况下对外部敏感信号的检测及传输。
2.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的传感器模块,其特征在于,该柔性绝缘材料是聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二酯或特殊纸制材料。
3.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的传感器模块,其特征在于,该传感器部分是在柔性绝缘材料衬底之上制作的各种传感器,这些传感器的平面结构各异,至少为圆形、椭圆形、正方形、长方形或不规则图形,且均能够弯曲成各种形状,以适应各种不同的测试环境。
4.根据权利要求3所述的基于柔性衬底的传感器模块,其特征在于,所述在柔性绝缘材料衬底之上制作的传感器是气体传感器或湿度传感器。
5.根据权利要求4所述的基于柔性衬底的传感器模块,其特征在于,所述气体传感器是在柔性绝缘材料衬底上制作出两个电极条,然后在两个电极条之间制作气敏涂层。
6.根据权利要求5所述的基于柔性衬底的传感器模块,其特征在于,所述在两个电极条之间制作的气敏涂层,其采用的敏感膜是有机高分子聚合物、金属氧化物、或有机高分子聚合物与金属氧化物的混合物;其采用的涂覆方法包括滴涂、浸涂、热蒸发或打印。
7.根据权利要求6所述的基于柔性衬底的传感器模块,其特征在于,所述有机高分子聚合物为聚吡咯或聚苯胺,所述金属氧化物为Mo3、Sn2、ZnO或Ni。
8.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的传感器模块,其特征在于,该传感器部分的尺寸控制在50微米×50微米至1m×1m范围内。
9.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的传感器模块,其特征在于,该天线部分能够根据需求弯曲成不同的形状,且可在特定外形轮廓下进行微调,以实现最佳接收或发送的效果。
10.根据权利要求9所述的基于柔性衬底的传感器模块,其特征在于,该天线部分是喇叭天线、环形天线或可弯曲天线。
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