[发明专利]一种介电超晶格材料周期测量仪及其使用方法

权利要求书

1.一种介电超晶格材料周期测量仪，其特征在于：包括激光光源（1）、屏幕（7）和刻度装置（3），待测介电超晶格材料放置于激光光源（1）和刻度装置（3）之间，所述激光光源（1）垂直于待测介电超晶格材料表面，所述屏幕（7）平行于待测介电超晶格材料表面，所述刻度装置（3）置于屏幕（7）上。

2.根据权利要求1所述的一种介电超晶格材料周期测量仪，其特征在于：所述激光光源（1）的光束口径为0.1～1mm，波长λ为400～800nm。

3.根据权利要求1所述的一种介电超晶格材料周期测量仪，其特征在于：所述待测介电超晶格材料放置于载物台（2）内，所述载物台（2）上设置有位移微调装置。

4.根据权利要求1所述的一种介电超晶格材料周期测量仪，其特征在于：所述刻度装置（3）包含标准标尺轴和对应级数标尺轴，所述标准标尺轴上刻有标准刻度，所述对应级数标尺轴按照如下方法标注：设定波长为λ、刻度装置（3）与待测介电超晶格材料之间的距离为D时，基于公式取衍射条纹级数N=1、3、5、7，分别对应制作4个对应级数标尺轴，利用标准标尺轴测量对应级数的衍射条纹与刻度装置的零点之间的距离为x，不断改变x的大小，在每个对应级数标尺轴上按照上述公式计算得到每个x对应的周期d，并在对应级数标尺轴上的x处注明该处对应的周期d。

5.根据权利要求3所述的一种介电超晶格材料周期测量仪，其特征在于：所述待测介电超晶格材料放置于载物台（2）内的平台（5）上，所述平台（5）透明。

6.根据权利要求4所述的一种介电超晶格材料周期测量仪，其特征在于：所述刻度装置（3）具有中心转轴，且标准标尺轴和对应级数标尺轴的零点均重合于中心转轴处。

7.一种介电超晶格材料周期测量仪的使用方法，其特征在于：选择激光波长为设定的波长λ，打开激光光源（1），发射出波长λ的激光垂直照射至待测介电超晶格材料表面，刻度装置（3）的零点对准激光光源（1），保持刻度装置（3）与待测介电超晶格材料之间的距离为D不变，观察衍射条纹，在对应级数标尺轴上找出所对应级数的衍射条纹的位置，并读取对应级数标尺轴在该位置处标注的周期d。