[发明专利]PVD法包覆钽或铌制作耐蚀金属材料的工艺在审
| 申请号： | 201310681491.6 | 申请日： | 2013-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN103695854A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 杨国启;郑爱国;王东新;李军义;张丽;罗丹;郑金凤 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司;国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16 |
| 代理公司： | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人： | 赵明辉 |
| 地址： | 753000 宁夏*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | pvd 法包覆钽 制作 金属材料 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种PVD法包覆钽或铌制作耐蚀金属材料的工艺，其特征在于，包括如下步骤：采用磁控溅射的方式，在金属材料基体表面涂覆一层钽或铌保护层。
2.如权利要求1所述的一种PVD法包覆钽或铌制作耐蚀金属材料的工艺，其特征在于：其中磁控溅射采用磁控溅射沉积系统，所用靶材为纯度99.95及以上的钽靶或铌靶，直径60mm，厚度5～6mm。
3.如权利要求1或2所述的一种PVD法包覆钽或铌制作耐蚀金属材料的工艺，其特征在于：其中控制溅射功率30～60W，氩气气氛，直流偏压电源为负偏压-100V到-180V，溅射气压0.1～0.6Pa，基层温度200～500℃，靶基距50～60mm，基底真空6×10-5Pa到8×10-4Pa，溅射时间3～8小时。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁夏东方钽业股份有限公司;国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心，未经宁夏东方钽业股份有限公司;国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310681491.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多功能可再生能源转换系统
- 下一篇：一种多功能可移动式液压平衡小吊车
- 同类专利
- 专利分类
