[发明专利]单晶炉的加热装置在审
| 申请号： | 201310684221.0 | 申请日： | 2013-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN104711669A | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 潘燕萍 | 申请（专利权）人： | 常州市天龙光电设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B15/10 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶炉 加热 装置 | ||
【权利要求书】：
1.单晶炉的加热装置，包括石墨坩埚和锅托体，其特征在于：所述石墨坩埚表面上设有若干个凹槽，石墨坩埚底面上设有凸台，所述锅托体设置于石墨坩埚下面，锅托体由锅托台和支架构成，锅托台为一个直径逐渐增大的圆柱形腔体，锅托台与石墨坩埚相接触的表面上设有与凸台相适应的卡槽，支架设置于锅托台的下表面。
2.根据权利要求1所述的单晶炉的加热装置，其特征在于：所述凹槽为正方形，深度为2mm-4mm，边长为5mm-10mm。
3.根据权利要求1所述的单晶炉的加热装置，其特征在于：所述凹槽均布于石墨坩埚表面。
4.根据权利要求1所述的单晶炉的加热装置，其特征在于：所述石墨坩埚为一个直径逐渐减小的筒状结构。
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