[发明专利]用于统计数据抽取的统计计算

权利要求书

1.一种方法，其包括：

接收来自射频（RF）系统的变量；

将所述变量传播通过所述RF系统的模型；

针对所述变量对所述模型的输出进行计数以生成计数；

判定所述计数是否满足计数阈值；

在判定出所述计数满足所述计数阈值时，在所述模型的所述输出处生成所述变量的统计值；以及

将所述统计值发送到所述RF系统以调节所述变量。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述变量包括功率、或频率、或电压量值、或电流量值、或复电压与复电流之间的相位、或复电流、或复电压、或其组合。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述RF系统包括RF发生器。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述模型是计算机生成的模型，其中传播所述变量通过所述模型包括生成所述变量的值和与所述模型的部分相关联的变量值的方向和。

5.如权利要求1所述的方法，其中所述输出包括所述变量的多个值。

6.如权利要求5所述的方法，其中所述统计值包括所述值的移动四分位数间距、或所述值的四分位数间距、或所述值的最大值、或所述值的最小值、或所述值的均值、或所述值的中值、或所述值的方差、或所述值的标准差、或所述值的移动均值、或所述值的移动中值、或所述值的移动方差、或所述值的移动标准差、或所述值的模、或所述值的移动模、或其组合。

7.一种方法，其包括：

接收来自射频（RF）发生器的与变量相关联的数据，所述RF发生器被配置为产生待经由阻抗匹配电路供给到等离子体腔室的RF信号，所述变量与RF系统相关联，所述RF系统包括所述RF发生器、阻抗匹配电路以及所述等离子体腔室；

基于所接收到的数据生成从计算机生成模型输出的值；

对从所述计算机生成模型输出的所述值的量进行计数；

判定所述量是否超过计数阈值；

响应于判定出所述量超过所述计数阈值，根据从所述计算机生成模型输出的所述值来生成统计值；

将所述统计值发送到所述RF发生器以调节由所述RF发生器产生的所述RF信号。

8.如权利要求7所述的方法，其中经调节的所述RF信号经由RF电缆、所述阻抗匹配电路和RF传输线被提供给所述等离子体腔室，其中所述RF电缆将所述RF发生器与所述阻抗匹配电路耦合，其中所述RF传输线将所述阻抗匹配电路与所述等离子体腔室耦合。

9.如权利要求7所述的方法，其中所述变量包括功率、或频率、或电压量值、或电流量值、或复电压与复电流之间的相位、或复电流、或复电压或其组合。

10.如权利要求7所述的方法，其中所述阻抗匹配电路将负载的阻抗与源的阻抗匹配，其中所述源包括所述RF发生器以及将所述RF发生器与所述阻抗匹配电路耦合的RF电缆，其中所述负载包括所述等离子体腔室以及RF传输线，所述RF传输线将所述等离子体腔室与所述阻抗匹配电路耦合。

11.如权利要求7所述的方法，其中所述等离子体腔室包括卡盘和朝向所述卡盘的上电极。

12.如权利要求7所述的方法，其中所述变量包括在等离子体系统内的点处的复电压和电流。

13.如权利要求7所述的方法，其中所述量包括值的数量，其中所述统计值包括所述值的移动四分位数间距、或所述值的四分位数间距、或所述值的最大值、或所述值的最小值、或所述值的均值、或所述值的中值、或所述值的方差、或所述值的标准差、或所述值的移动均值、或所述值的移动中值、或所述值的移动方差、或所述值的移动标准差、或所述值的模、或所述值的移动模、或其组合。

14.如权利要求7所述的方法，还包括抽取在生成所述统计值之后所接收到的所述数据。

15.如权利要求7所述的方法，其中生成在所述计算机生成模型的所述输出处的所述值包括将所接收到的数据传播通过所述计算机生成模型的部分。