[发明专利]基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统

权利要求书

1.基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统，其特征在于包括发送端和接收端，所述的发送端包括抛光机、热电偶温度传感器、发送端锂离子电池、磨盘、发送端电路外壳、NRF905发射天线、发送端处理器复位键、发送端电源开关，所述的抛光机上部安装有磨盘，发送端锂离子电池安装在抛光机的内部，磨盘的上部安装有发送端电路外壳，磨盘的上部与发送端电路外壳的下部沿磨盘径向分别装有七组热电偶温度传感器，热电偶温度传感器裸露的热端与磨盘晶片下表面平行或等高，并在热电偶温度传感器的周围涂有绝缘胶，发送端电路外壳内经电路板装有发送端控制电路，发送端电路外壳的上部装有NRF905发射天线，发送端电路外壳的一侧并排安装有发送端电源开关和发送端处理器复位键；所述的接收端包括接收端电路外壳、接收端电源开关、接收端处理器复位键、液晶显示屏、EM310天线、NRF905接收天线、第一通讯指示灯、第二通讯指示灯、主功能按键、上调按键、下调按键、查询按键、串口、接收端锂离子电池和电源插头，其中EM310天线和NRF905接收天线并排装在接收端电路外壳的上部，接收端电路外壳的前部装有液晶显示屏、第一通讯指示灯、第二通讯指示灯、接收端处理器复位键、接收端电源开关、接收端锂离子电池、主功能按键、上调按键、下调按键、查询按键和串口，接收端电路外壳的左侧装有电源插头，接收端电路外壳内经电路板装有接收端控制电路。

2.根据权利要求1所述的基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统，其特征在于：所述的发送端控制电路包括温度采集电路IC16、时钟驱动电路IC22、存储电路IC21、发送端3.3V电源电路IC20、发送端微处理器复位电路IC17、NRF905无线发射电路IC19、发送端晶振电路IC18、发送端微处理器IC23，发送端微处理器IC23分别与温度采集电路IC16、时钟驱动电路IC22、存储电路IC21、发送端3.3V电源电路IC20、发送端微处理器复位电路IC17、NRF905无线发射电路IC19和发送端晶振电路IC18相连接；所述的温度采集电路IC16的第一K型热电偶串行模数转换器的6脚、7脚分别接发送端微处理器IC23的45脚、46脚，第二K型热电偶串行模数转换器的6脚、7脚分别接发送端微处理器IC23的43脚、44脚，第三K型热电偶串行模数转换器的6脚、7脚分别接发送端微处理器IC23的41脚、42脚，第四K型热电偶串行模数转换器的6脚、7脚分别接发送端微处理器IC23的39脚、40脚，第五K型热电偶串行模数转换器的6脚、7脚分别接发送端微处理器IC23的5脚、38脚，第六K型热电偶串行模数转换器的6脚、7脚分别接发送端微处理器IC23的3脚、4脚，第七K型热电偶串行模数转换器的6脚、7脚分别接发送端微处理器IC23的1脚、2脚；第一K型热电偶串行模数转换器的5脚接时钟驱动器IC22的B6脚，第二K型热电偶串行模数转换器的5脚接时钟驱动器IC22的B5脚，第三K型热电偶串行模数转换器的5脚接时钟驱动器IC22的B4脚，第四K型热电偶串行模数转换器的5脚接时钟驱动器IC22的B3脚，第五K型热电偶串行模数转换器的5脚接时钟驱动器IC22的B2脚，第六K型热电偶串行模数转换器的5脚接时钟驱动器IC22的B1脚，第七K型热电偶串行模数转换器的5脚接时钟驱动器IC22的B0脚；所述的时钟驱动器IC22的A脚接发送端微处理器IC23的52脚；所述的发送端微处理器复位电路IC17的电容C32的一端和发送端微处理器复位键SAW2的一端并联接地，电容C32的另一端、发送端微处理器复位键SAW2的另一端和电阻R24的一端接发送端微处理器IC23的16脚，电阻R24的另一端接发送端3.3V电源；发送端晶振电路的电容C33的一端和电容C34的一端并联接地，电容C33的另一端和晶振TX3的一端接发送端微处理器IC23的9脚，电容C34的另一端和晶振TX3的另一端接发送端微处理器IC23的8脚，电容C35的一端和电容C36的一端并联接地，电容C35的另一端和晶振TX4的一端接发送端微处理器IC23的12脚，电容C36的另一端和晶振TX4的另一端接发送端微处理器IC23的13脚；所述的NRF905无线发射电路IC19的13脚和14脚并联接地，1脚接电源，2脚、3脚、4脚、5脚、6脚、7脚、8脚、9脚、10脚、11脚、12脚分别接发送端微处理器IC23的25脚、26脚、23脚、29脚、30脚、71脚、32脚、72脚、76脚、31脚、24脚；所述的存储电路IC21的1脚、2脚、3脚、4脚和7脚并联接地，电阻R25的一端、电阻R26的一端和存储电路IC21的8脚并联接电源，电阻R26的另一端和存储电路IC21的6脚接发送端微处理器IC23的47脚，电阻R25的另一端和存储电路IC21的5脚接发送端微处理器IC23的48脚；发送端微处理器IC23的19脚接地，10脚、27脚、99脚、74脚和49脚并联接地，22脚接电源，11脚、28脚、100脚、75脚和50脚并联接电源；所述的接收端控制电路包括接收端3.3V电源电路IC1、接收端微处理器复位电路IC14、SIM卡座电路IC13、存储器电路IC2、驱动电路IC8、接收端晶振电路IC9、按键电路IC10、收发数据信号指示电路IC11、SIM卡座连接电路IC12、NRF905无线接收电路IC7、液晶显示电路IC15、EM310电源电路IC5、EM310电路IC4、串口电路IC6和接收端微处理器IC3，所述的接收端微处理器复位电路IC14的电容C1的一端和接收端微处理器复位键SAW1的一端并联接地，电容C1的另一端、接收端微处理器复位键SAW1的另一端和电阻R1的一端接接收端微处理器的16脚，电阻R1的另一端接接收端3.3V电源；所述的驱动电路IC8的电阻R5的一端和三极管Q1的发射极并联接地，电阻R4的一端、电阻R5的一端和三极管Q1的基极相连，电阻R4的另一端接接收端微处理器IC3的68脚，三极管Q1的集电极接EM310电路IC4的41脚；所述的存储器电路IC2的1脚、2脚、3脚、4脚和7脚并联接地，电阻R2的一端和存储器电路IC2的5脚连接接收端微处理器的48脚，电阻R3的一端和存储器电路IC2的6脚接微接收端处理器的47脚，电阻R2的另一端和电阻R3的另一端和接收端微处理器的8脚相连接3.3V电源；所述的接收端晶振电路IC9的电容C2的一端、电容C3的一端、电容C4的一端和电容C5的一端并联接地，电容C2的另一端和晶振TX1的一端接接收端微处理器的9脚，电容C3的另一端和晶振TX1的另一端接接收端微处理器的8脚，电容C4的另一端和晶振TX2的一端接接收端微处理器的12脚，电容C5的另一端和晶振TX2的另一端接接收端微处理器的13脚；所述的按键电路IC10的电容C6的一端、主功能按键SAW3的一端、电容C7的一端、上调按键SAW4的一端、电容C8的一端、下调按键SAW5的一端、电容C9的一端和查询按键SAW6的一端并联接地，电容C6的另一端、主功能按键SAW3的另一端和电阻R6的一端接接收端微处理器的84脚，电容C7的另一端、上调按键SAW4的另一端、电阻R7的一端接接收端微处理器的83脚，电容C8的另一端、下调按键SAW5的另一端和电阻R8的一端接接收端微处理器的82脚，电容C9的另一端、查询按键SAW6的另一端、电阻R9的一端接接收端微处理器的81脚，电阻R6的另一端、电阻R7的另一端、电阻R8的另一端和电阻R9的另一端并联接接收端3.3V电源；收发数据信号指示电路IC11的电阻R12的一端、三极管Q3的发射极、电阻R15的一端和三极管Q2的发射极并联接地，电阻R11的一端、电阻R12的另一端、三极管Q3的基极相连，电阻R11的另一端接EM310电路IC4的32脚，三极管Q3的集电极经电阻R10接收发数据信号指示灯LED1的负极，收发数据信号指示灯LED1的正极接5V电源，电阻R14的一端、电阻R15的一端、三极管Q2的基极相连，电阻R14的另一端接EM310电路IC4的13脚，三极管Q2的集电极经电阻R13接收发数据信号指示灯LED2的负极、收发数据信号指示灯LED2的正极接5V电源。