[发明专利]确定RF 传输线上的变量的值的方法和系统

权利要求书

1.一种用于确定射频（RF）传输模型上的变量的值的方法，所述方法包括：

识别在RF发生器的输出位置测得的当所述RF发生器经由阻抗匹配电路耦合到等离子体室时的第一复电压和电流，所述阻抗匹配电路具有耦合到所述RF发生器的输出的输入和耦合到RF传输线的输出；

基于所述阻抗匹配电路中所定义的电气元件生成阻抗匹配模型，所述阻抗匹配模型具有输入和输出，所述阻抗匹配模型的输入接收所述第一复电压和电流，所述阻抗匹配模型具有一个或多个元件；

从所述阻抗匹配模型的输入到所述阻抗匹配模型的输出穿过所述一个或多个元件传送所述第一复电压和电流以确定第二复电压和电流，其中所述第二复电压和电流在所述阻抗匹配模型的输出位置；

基于所述RF传输线中所定义的电路元件生成RF传输模型，所述RF传输模型具有输入和输出，所述RF传输模型的输入耦合到所述阻抗匹配模型的输出，所述RF传输模型具有包括一或多个元件的部分；以及

从所述RF传输模型的输入到所述RF传输模型的所述部分的输出穿过所述RF传输模型的所述部分的所述一或多个元件传送所述第二复电压和电流以确定第三复电压和电流，其中所述第三复电压和电流在所述RF传输模型的所述部分的输出位置。

2.如权利要求1所述的方法，其中所接收的所述第一复电压和电流用电压和电流探针在所述RF发生器的输出位置测得，所述电压和电流探针根据预设公式校准。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述预设公式是标准。

4.如权利要求3所述的方法，其中所述标准是美国国家标准技术研究所（NIST）标准，其中所述电压和电流探针与开路、短路或者负载耦合以校准所述电压和电流探针从而符合NIST标准。

5.如权利要求1所述的方法，其中所述第三复电压和电流包括电压值、电流值和所述电压值和所述电流值之间的相位。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述RF发生器的输出被用于经由所述阻抗匹配电路和所述RF传输线将RF信号传送给所述等离子体室。

7.如权利要求1所述的方法，其中所述阻抗匹配电路的电气元件包括电容器、电感器或者电容器和电感器的组合。

8.如权利要求1所述的方法，其中所述阻抗匹配模型的元件包括电容器、电感器或者电容器和电感器的组合。

9.如权利要求1所述的方法，其中所述阻抗匹配电路的电气元件包括电容器和电感器的组合，其中所述阻抗匹配模型的元件具有与所述阻抗匹配电路的电气元件的特性相似的特性。

10.如权利要求1所述的方法，其中在所述RF传输模型的所述部分的输出位置的所述第三复电压和电流用于系统中，其中所述系统包括阻抗匹配电路且在所述系统的所述阻抗匹配电路的输出位置不包括计量工具，其中所述系统包括RF传输线且在所述系统的所述RF传输线上的点处不包括计量工具。

11.如权利要求1所述的方法，其中所述阻抗匹配模型和所述RF传输模型在计算机中生成。

12.如权利要求1所述的方法，其中从所述阻抗匹配模型的输入到所述阻抗匹配模型的输出穿过所述一个或多个元件传送所述第一复电压和电流以确定所述第二复电压和电流包括：

基于所述第一复电压和电流以及耦合在所述阻抗匹配模型的输入和中间节点之间的所述阻抗匹配模型的一个或多个元件的特性确定所述阻抗匹配模型中的所述中间节点内的中间复电压和电流；以及

基于所述中间复电压和电流以及耦合在所述中间节点和所述阻抗匹配模型的输出之间的所述阻抗匹配模型的一个或多个元件的特性确定所述第二复电压和电流。

13.如权利要求1所述的方法，其中所述RF传输模型包括RF隧道模型和RF带模型，所述RF隧道模型与所述RF带模型耦合。

14.如权利要求1所述的方法，其中所述RF传输线的电气元件包括电容器和电感器的组合，其中所述RF传输模型的元件具有与所述RF传输线的电气元件的特性相似的特性。