[发明专利]利用光传输介质的特征检测在审
申请号: | 201310692503.5 | 申请日: | 2013-10-15 |
公开(公告)号: | CN103728311A | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | J·W·艾和;F·扎瓦利彻;D·M·唐;S·K·H·王;M·纳西柔;H·L·洛特;S·K·麦克劳林 | 申请(专利权)人: | 希捷科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 何焜 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 利用 传输 介质 特征 检测 | ||
1.一种装置,包括:
光源,配置为向物品的表面照射光;
介质线,配置为容纳光和进一步配置为传输光,其中所述介质线包括半反射镜,其中所述半反射镜配置为将来自光源的光透过至物品,并且其中所述半反射镜配置为反射从物品的缺陷反射回的光;以及
检测器,配置为接收从半反射镜反射回的光,其中所述检测器进一步配置为检测物品的缺陷。
2.根据权利要求1所述的装置,其进一步包括滤光器,所述滤光器配置为滤掉预定波长的光。
3.根据权利要求1所述的装置,其进一步包括偏振器,所述偏振器配置为通过预定偏振的光。
4.根据权利要求1所述的装置,其进一步包括数字微镜器件,所述数字微镜器件配置为调制从物品反射回的光。
5.根据权利要求4所述的装置,其中所述数字微镜器件配置为分离不同波长的光,并且其中所述数字微镜器件进一步配置为将所述分离出的光传输到检测器的不同部分。
6.根据权利要求1所述的装置,其中所述介质线为具有第一端、第二端和第三端的T型光纤。
7.根据权利要求1所述的装置,其中所述检测器配置为根据从物品反射的光是弹性或非弹性来确定所述缺陷是有机或无机缺陷。
8.根据权利要求1所述的装置,其中改变介质线和物品之间的距离来确定与所述缺陷有关的高度,其中使用干涉仪来进行所述确定。
9.根据权利要求1所述的装置,其中所述缺陷检测是基于从半反射镜反射回的光的强度。
10.一种装置,包括:
光源,配置为向物品表面照射光;
第一介质线,配置为容纳光和进一步配置为将来自光源的光传输至物品;
第二介质线,配置为捕获从物品反射回的光;以及
检测器,配置为通过第二介质线接收从物品反射回的光,其中所述检测器进一步配置为检测物品的缺陷。
11.根据权利要求10所述的装置,其进一步包括滤光器,所述滤光器配置为滤掉预定波长的光。
12.根据权利要求10所述的装置,其进一步包括偏振器,所述偏振器配置为通过预定偏振的光。
13.根据权利要求10所述的装置,其进一步包括数字微镜器件,所述数字微镜器件配置为调制从物品反射回的和通过第二介质线接收的光。
14.根据权利要求13所述的装置,其中所述数字微镜器件配置为分离不同波长的光,并且其中所述数字微镜器件进一步配置为将所述分离出的光传输到检测器的不同部分。
15.根据权利要求10所述的装置,其中所述缺陷检测是基于从物品反射回的光的强度。
16.根据权利要求10所述的装置,其中所述检测器配置为根据从物品反射的光是弹性或非弹性来确定所述缺陷是有机或无机缺陷。
17.根据权利要求10所述的装置,其中改变第一介质线和物品之间的距离以及第二介质线和物品之间的距离来确定与所述缺陷有关的高度,其中使用干涉仪来进行所述确定。
18.一种装置,包括:
多股线,配置为容纳光和进一步配置为将来自光源的光传输至物品的表面;以及
检测器,配置为通过所述多股线接收从物品的表面反射回的光,其中所述检测器进一步配置为检测与物品有关的特征。
19.根据权利要求18所述的装置,其中所述多股线中的一股包括镀有光学涂层的半反射镜,其中所述半反射镜配置为将来自光源的光透过至物品,并且其中所述半反射镜配置为将从物品反射回的光反射至检测器。
20.根据权利要求18所述的装置,其中所述多股线中的一股配置为将来自光源的光传输至物品,并且其中所述多股线中的另一股配置为捕获从物品反射回的光并将从物品反射回的光传输到检测器。
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